Het Eindhovense Invisix heeft een seed-ronde van 20 miljoen euro afgerond om zijn soft X-ray-metrologietechnologie naar de markt te brengen. Met het kapitaal wil de start-up zijn eerste commerciële systeem ontwikkelen, het team uitbreiden en demonstraties aan potentiële klanten verzorgen vanuit een nieuwe cleanroomfaciliteit in Eindhoven.
Invisix is opgericht door voormalige ASML-onderzoekers Christina Porter en Sietse van der Post en bouwt voort op technologie die oorspronkelijk binnen ASML werd ontwikkeld. Het bedrijf richt zich op een groeiend pijnpunt in geavanceerde chipproductie. Naarmate logica- en geheugenchips steeds meer driedimensionale structuren krijgen, wordt het voor conventionele optische metrologietools moeilijker om deze in beeld te brengen. Daardoor zijn chipfabrikanten vaak aangewezen op tragere of destructieve meetmethoden, die ongeschikt zijn om productieprocessen bij te sturen.
De oplossing van Invisix combineert zachte röntgenstraling met eigen reconstructiesoftware en machinelearning-algoritmen. Daarmee kunnen gedetailleerde driedimensionale metingen van interne chipstructuren worden uitgevoerd zonder de wafer te beschadigen. De architectuur van het systeem is volgens het bedrijf ontworpen om te voldoen aan de throughput-eisen van productie op grote schaal.
Aan de overtekende financieringsronde namen Hitachi Ventures, Transition Ventures, Imec.xpand, Doosan Investment en een niet nader genoemde grote chipfabrikant deel.
