Het Delftse Delmic introduceert Aurora, een systeem dat kristaldefecten in halfgeleidermaterialen automatisch opspoort. Het is onder meer bedoeld voor siliciumcarbide en galliumnitride, materialen die steeds vaker worden gebruikt in vermogenschips. Afwijkingen in het kristal zijn met bestaande inspectiemethodes vaak moeilijk te zien.
Aurora gebruikt kathodeluminescentie: door een materiaal met een elektronenbundel te beschijnen, produceert het licht (net zoals in een ouderwetse beeldbuis). Bij een kristaldefect kan dat licht zwakker worden of van kleur veranderen. Een spiegel vangt het licht op, zodat het systeem defecten, materiaalspanningen en variaties op nanoschaal in kaart kan brengen.
Het systeem opereert automatisch, maar is primair bedoeld voor onderzoeks- en ontwikkeldoeleinden. Afhankelijk van de uitvoering kan Aurora een groot deel van een 300mm wafer inspecteren. De software telt en analyseert de gevonden defecten, zodat onderzoekers beter kunnen achterhalen waar in het productieproces ze zijn ontstaan.
