VDL ETG Projects werkt samen met de Zweedse start-up Alixlabs aan een productiesysteem voor atomic pitch splitting, een patroneringstechniek die het gebruik van euv-lithografie kan verminderen. De eerste machines zijn bijna klaar. De eerste leveringen staan gepland voor dit jaar, zei Sorin Stan, senior director emerging technologies and business development van VDL ETG Projects, vorige week op de ALD for Industry-conferentie in Eindhoven. Het is de eerste keer dat beide bedrijven hun samenwerking publiekelijk erkennen.
VDL ETG Projects, onderdeel van de bredere VDL Groep, is gespecialiseerd in het ontwerpen en bouwen van first-of-a-kind apparatuur voor opkomende technologieën. In tegenstelling tot de serieproductie-units concentreert dit onderdeel zich op het omzetten van nieuw ontwikkelde processen naar schaalbare industriële systemen. Daarbij werkt het nauw samen met klanten, vanaf de vroege ontwikkelfase tot de marktintroductie, inclusief de bouw van eerste machines en daaropvolgende series.
De samenwerking met Alixlabs richt zich op atomic pitch splitting (APS), een multipatterningtechniek afgeleid van atomic layer etching. APS maakt het mogelijk om de dichtheid van structuren te verdubbelen of zelfs te verviervoudigen zonder extra lithografiestappen, en biedt als zodanig een potentieel alternatief voor kostbare euv-gebaseerde verdichting. Het proces steunt op zeer nauwkeurige laag-voor-laag materiaalverwijdering, wat zorgt voor meer controle en minder defecten dan bij conventionele multipatterningtechnieken. Door processtappen te vereenvoudigen, belooft Alixlabs dat APS de investeringskosten zal verlagen, de cyclustijden zal verkorten en de doorvoer zal verbeteren.
