Achtergrond

ASML’s euv-lichtbron krijgt flinke oppepper

De lichtbronnen van euv-scanners staan aan de vooravond van een flinke upgrade. Hun vermogen verdubbelt dit jaar naar 600 watt en de roadmap loopt door tot maar liefst 1000 watt.

Paul van Gerven

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Login

Premium lid worden

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.