CEA-Leti helpt Solmates om tools fab-klaar te maken

CEA-Leti heeft een pulsed laser deposition-systeem (PLD) besteld bij Solmates. Nadat het systeem in de eerste helft van volgend jaar is geïnstalleerd, starten het Franse onderzoeksinstituut en de UT-spin-off een gezamenlijk programma om dunne-filmmaterialen voor 5g-toepassingen te ontwikkelen.

In PLD wordt een materiaal beschoten met een laserpuls, waardoor een ‘pluim’ van plasma ontstaat die zich vervolgens op een substraat afzet als een extreem dunne laag. Door verschillende doelen in een specifieke volgorde te beschieten, kunnen op maat gemaakte materialen laag voor laag worden opgebouwd.

Oorspronkelijk kon PLD alleen kleine oppervlakken bedekken, maar in de loop der jaren heeft Solmates de dekking uitgebreid. Het systeem dat CEA-Leti heeft besteld, is geschikt voor 300 mm wafers en compatibel met gevestigde toolclusterplatforms in de halfgeleiderproductie. ‘We zijn enthousiast over deze samenwerking, omdat dit onze missie zal stimuleren om PLD aan te bieden als productieklare technologie voor het aanbrengen van dunne films’, zegt Solmates-ceo Arjen Janssens.