Besi heeft beste kaarten in advanced packaging, maar het spel is pas net begonnen

René Raaijmakers
Leestijd: 13 minuten

Die-to-wafer hybrid bonding staat op het punt om door te dringen in geavanceerde chipsystemen voor servers, datacentra en later mogelijk mobieltjes. Backend-machinebouwer Besi en partner Applied Materials zitten met hun machines op de eerst rij.

De verwachtingen voor hybrid bonding zijn hooggespannen en Richard Blickman, ceo van Be Semiconductor Industries (Besi) jaagt het enthousiasme graag aan. ‘hybrid bonding, that’s where you all came for’, zo verwelkomde hij afgelopen juni investeerders en analisten op Besi’s Capital Markets day. De nieuwe interconnectie-technologie moet de komende jaren voor een nieuwe groeispurt zorgen bij het bedrijf uit Duiven.

In technisch opzicht is hybrid bonding een fascinerend proces. Het legt een kale, schone en zeer vlakke chip nauwkeurig op een wafer die dezelfde schoonheidsbehandeling heeft ondergaan. De oppervlakken moeten op vrijwel atomair niveau schoon zijn en daarna is er de cruciale handeling om het isolerende siliciumoxide en de kopercontacten exact met elkaar in verbinding te brengen. In een superschone omgeving en met de juiste mechanisch-chemische behandelingen ontstaat zo een sandwich van geïntegreerde circuits met thermische en mechanische eigenschappen die sterk op een monolithische chip lijken.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Login

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.