ASMI-spin-off Levitech stapt in solar

Het onlangs op eigen benen gezette ASMI-bedrijfsonderdeel voor rapid thermal processing (RTP) gaat proberen de zonnecelindustrie warm te laten lopen voor atoomlaagdepositie (ALD). Het nog in oprichting zijnde bedrijf, dat Levitech gedoopt is, ontwikkelt een machine waarmee atoomscherpe laagjes materiaal kunnen worden opgebracht met een voor de solarwereld acceptabele doorvoersnelheid. In een gesprek met Mechatronica Magazine zegt het Levitech-management te verwachten tegen het einde van het jaar volledig operationeel te zijn, als de onderhandelingen met investeerders zijn afgerond. Rond dat tijdstip kunnen de eerste klanten terecht om een prototype annex researchmachine te bestellen.

Een groeiend aantal chipfabrikanten gebruikt ALD om kritieke lagen van chips aan te brengen, maar gezien de relatieve traagheid van het proces ligt uitbreiding naar zonnecelproductie niet voor de hand. Levitech omzeilt dat probleem door een ALD-cyclus niet in de tijd maar in de ruimte ’uit te spreiden‘.

In de traditionele uitvoering wisselen in een ALD-reactor twee gassen elkaar cyclusgewijs af. Tijdens elke puls voltrekt zich een zelf-limiterende chemische reactie op het oppervlak van het substraat en na iedere cyclus heeft zich precies een atomair laagje afgezet. Tussen de twee reactieve gassen door moet de reactor ’gespoeld‘ worden met een inert gas om te voorkomen dat de chemicaliën in de gasfase met elkaar reageren.