Metrologie-start-up Invisix maakt zich los van ASML

Invisix, geboren in de r&d-keuken van ASML, is erop gebrand de metrologische gereedschapskist van chipfabrikanten uit te breiden met soft X-ray-scatterometrie. Met deze techniek wil de kersverse start-up een steeds nijpender wordend probleem in de halfgeleiderindustrie aanpakken: het imagen van almaar complexere 3D-structuren tijdens de productie.

De technologie bouwt voort op meer dan tien jaar onderzoek binnen ASML. Bij de lithogigant ligt de focus op metrologie die direct bijdraagt aan de prestaties van lithografiesystemen. Oplossingen met een andere rol in de procescontrole vallen buiten die scope, maar in het geval van Invisix werd de technologie voldoende kansrijk geacht om in een apart bedrijf naar de markt te worden gebracht.