ASML Investor Day take-aways: eerste stap in backend

In 1986 introduceerde ASML zijn eerste waferstepper, de PAS2500, op basis van de 365 nanometer spectraallijn uit een kwiklamp. Veertig jaar later ontwikkelt het bedrijf een nieuwe waferscanner met hetzelfde i-line-licht, een systeem dat tevens is gericht op een voor ASML nieuwe markt: de semicon-backend. In deze wereld gaat het om het slim combineren en verpakken van chips. Veldhoven gaat de eerste machines in 2025 verschepen.

Het bijzondere van ASML’s aangekondigde XT260 i-line-systeem is zijn hoge productiviteit. Hij kan in één scannende beweging meerdere belichtingsvelden (exposure fields, 26 mm bij 33 mm) tegelijk belichten. ‘Als je een groot belichtingsveld hebt, dan heb je gewoon minder belichtingen nodig om een volledige wafer te vullen’, legde Herman Boom de propositie uit aan de verzamelde analisten en investeerders op ASML’s Investor Day, afgelopen november. ‘Dat verhoogt de productiviteit aanzienlijk. We hebben het over 350 wafers per uur, wat de hoogste productiviteit in de industrie is op een i-line-systeem in dit segment.’