Achtergrond

High-NA-tool: check. Proces: check. Chips: even geduld nog.

Vergeleken met de overgang van immersie- naar euv-lithografie is de stap van low-NA naar high-NA een makkie, toch?

Paul van Gerven

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Login

Premium lid worden

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.