Waarom ASML niet wakker ligt van Applieds pattern-shaping-tool

De aandelen van ASML doken onlangs in het rood toen Applied Materials machines aankondigde die sommige beleggers als een bedreiging beschouwen voor de afzet van EUV-scanners. Die vrees is overdreven. Zelfs als Applieds pattern-shaping technology zo goed werkt als het bedrijf beweert, heeft de Veldhovense machinebouwer er baat bij als diens klanten Applieds Centura Sculpta-systeem massaal gaan toepassen.

De Sculpta is een etstool die is ontworpen om asymmetrisch materiaal weg te nemen. Door een plasmabundel onder een instelbare hoek en snelheid over een wafer te bewegen, knabbelen reactieve deeltjes aan de zijwanden van eerder gefabriceerde structuren. Zo kunnen gaten bijvoorbeeld worden uitgerekt tot ellipsoïden.