Hoe Philips het huwelijk met FEI naar een reverse take-over stuurde
Philips Electron Optics en FEI Company slaagden er in de jaren negentig in om samen een vuist te maken in de semiconmarkt. Karel van der Mast stond mede aan de basis van het samengaan van beide activiteiten – inmiddels een succesvol onderdeel van Thermo Fisher. High Tech Systems-magazine dook met Van der Mast in de geschiedenis. Hij geeft een uniek inkijkje in wat er bij de reverse take-over op de achtergrond speelde.
Elektronenmicroscopie trekt pas echt de aandacht van de jonge student Karel van der Mast als hij ontdekt hoe eenvoudig de techniek is. Het bouwen van een proefopstelling tijdens zijn studie aan de TU Delft gaat hem gemakkelijk af. ‘Ik dacht: als het zo makkelijk is, dan is het wel een leuk vak’, herinnert hij zich. ‘Iedere elektron weet waar hij naartoe moet, dus ik dacht: moeilijk kan het niet zijn.’ In de jaren daarna studeert en promoveert hij bij Jan-Bart le Poole, de hoogleraar die geldt als Nederlandse pionier in de elektronenoptiek.
Van der Masts promotieonderzoek richt zich op elektronenbronnen. Rond dezelfde tijd stort zich in de Verenigde Staten op het Linfield Research Institute (LRI) in Oregon ook iemand op dat onderwerp. Het is Lynwood ‘Lyn’ Swanson die daar net hoogleraar is geworden en onderzoek doet naar ionen- en elektronenbronnen.
Swanson richt daar in 1971 met Noel Martin en Lloyd Swenson het bedrijf Field Electron and Ion Company op. FEI verkoopt in eerste instantie zuivere éénkristalijne materialen voor veldemissie-onderzoek, maar het gaat al snel ionen- en elektronen-emitters verkopen.
Van der Mast legt contact met Swanson en ziet kans om hem na een conferentie thuis te bezoeken. ‘We hebben ideeën uitgewisseld en zijn toen gaan samenwerken.’ Swanson bleek uiteindelijk een beter concept voor een elektronenbron in handen te hebben. ‘Mijn bron deed het, maar was te complex’, zegt Van der Mast. ‘Swansons bronnen, de field emitters, zijn het geworden en hij werd daar een grote speler in.’
Commerciële transmissie-elektronenmicroscoop
Na zijn promotie in 1974 kan Van der Mast kiezen tussen het Philips Natuurkundig Laboratorium of Philips Electron Optics. Hij kiest het laatste. ‘Ik vond het leuk om dingen te maken die ook verkopen. Dat is het bewijs voor interesse, dan hebben mensen er lol van. Dat vind ik veel leuker dan in een hoekje zitten puzzelen en maar hopen dat men er ooit iets mee doet.’
Philips bouwt al veel eerder, in 1949, zijn eerste commerciële transmissie-elektronenmicroscoop (TEM), een apparaat waarmee je met elektronen door een flinterdun sample kijkt. In de decennia die volgen is het vooral succesvol met deze technologie. Met de types die het oppervlakte scannen, de SEM’s, is de Eindhovense firma laat en de ontwikkelingen gaan moeizamer.
Maar zowel TEM als SEM zijn in de jaren zeventig randactiviteiten voor een multinational die miljarden omzet in lampen, muziek en tv’s. Bij Philips zijn de elektronenmicroscopen ondergebracht in de divisie Science & Industry (S&I), samen met een allegaartje van andere instrumentatie- en automatiseringsactiviteiten.
Joint-ventures voor SEM en TEM
Tijdens de recessie van begin jaren tachtig krijgt S&I van topman Wisse Dekker de opdracht om de elektronenmicroscopen af te stoten, samen met lithografie, lassen, numerieke besturingen en massaspectroscopie. De S&I-directie denkt met een Japanse partij twee joint ventures op te kunnen richten, een voor TEM en de ander voor SEM, maar uiteindelijk blijft de elektronenmicroscopie onder Philips’ eigen dak.
Van der Mast is begin jaren tachtig verantwoordelijk voor de r&d in transmissiemicroscopie, maar als professor Le Poole in 1983 met pensioen gaat, accepteert hij de uitnodiging om zijn voormalige hoogleraar in Delft op te volgen.
Toch gaat hij in 1989 terug naar Philips Electron Optics, waar hij als hoofd r&d de opdracht krijgt om de elektronenmicroscopie-club weer op de kaart te zetten. ‘Onderzoek en ook de universiteitsomgeving zijn erg leuk, maar voor mij niet dynamisch genoeg. Mijn hart ligt meer bij de industrie. Daar zorgen klanten ervoor dat er vaart in komt.’ Met een grijns: ‘Als je tenminste bij een club zit die vaart durft te maken.’
De één Ångström resolutie-limiet
Hij kijk tevreden terug op het Europese Brite Euram project Sub-Ångström Characterization dat als doel had om met transmissiemicroscopen de één Ångström resolutielimiet te bereiken (1 Ångström is 0,1 nanometer). ‘De hele mondiale wetenschappelijke top was erbij betrokken. Uiteindelijk hebben we dat succesvol afgesloten.’
Maar zijn ambitie was toch vooral om Philips Electron Optics weer op de kaart te zetten. Dat betekende in de eerste plaats de TEM-activiteiten die redelijk draaiden, nog beter te laten presteren. ‘Je moet kijken naar wat het snelst geld kan opbrengen.’
Met zijn scanning-microscopen is Philips veel minder succesvol dan de Japanners JEOL en Hitachi. De Nederlanders zien daarvoor eind jaren tachtig wel behoefte in de halfgeleidermarkt. In 1990 brengen ze een SEM op de markt die 6 inch silicium-plakken kan bekijken. Het apparaat is in staat om naast een driedimensionaal beeld (reflecterende elektronen) ook de materiaalsamenstelling (secundaire elektronen) in beeld te brengen.
Mordicus tegen
Van der Mast realiseert zich dat zijn r&d-groep van tachtig mensen niet voldoende vaart kan maken in zowel TEM als SEM. Om de ontwikkelingen in Eindhoven te rechtvaardigen wil hij afnemers zoeken voor Philips’ SEM-platform. ‘Mijn idee was om iets waar we goed in zijn, ook ter beschikking te stellen aan andere bedrijven. Als die op hun terrein ook omzet zouden maken, dan zouden we als conglomeraat sneller groeien.’
Bij Philips zijn een aantal mensen mordicus tegen het idee, maar Van der Mast vindt alles zelf doen voor een kleine club als Electron Optics geen geschikte strategie. Hij wil het idee voorleggen aan Lyn Swanson, ook al ziet het hogere management het niet zitten. ‘Het was een privé-actie van onze activiteit.’
Eerste ionenbundelapparaat
Swansons business stijgt op dat moment exponentieel. In 1987 heeft hij besloten om zijn colleges aan het Oregon Graduate Institute aan de wilgen te hangen en FEI Company fulltime te gaan runnen. De basis van het succes is een ionenbron op basis van vloeibare metalen die de oprichter en zijn team al in 1981 ontwikkelden. FEI is erin geslaagd om de geladen deeltjes te bundelen tot een fijne ionenstraal, een technologie die in de industrie bekend staat als focussed ion beam(FIB).
De halfgeleiderindustrie is eind jaren tachtig booming en heeft behoefte aan apparaten die nanometers in beeld kunnen brengen, maar ook om microbewerkingen te doen. Dat laatste kan met ionenbundels. In 1988 haalt Swanson in een eerste financieringsronde 300 duizend dollar op en verscheept een jaar later zijn eerste FIB-apparaten die met ionenbundels chipmaskers kunnen repareren.
FEI gaat leveren aan grote klanten als Hewlett-Packard en Intel. Seagate gebruikt de instrumenten voor het trimmen van koppen voor harde schijven. Daardoor groeit het bedrijf in 1990 naar 85 medewerkers en behaalt dat jaar een omzet van 7,5 miljoen dollar.
Scepcis vanwege mislukt avontuur
Van der Mast en Swanson ontmoeten elkaar weer in 1990 op het internationale Electron Microscopy congress in Seattle, Washington. De Philips-man stelt voor dat FEI zijn platformen gaat gebruiken voor zijn instrumenten. Hij houdt Swanson voor: als je zelf SEM-technologie gaat ontwikkelen, dan gaat je dat jaren kosten.
Van der Mast: ‘Mijn argument was dat zowel FEI als Philips op basis van één platform veel sneller de markt op konden. De investeringen in de ontwikkeling van nieuwe technologie zijn groot. Je moet ook nog meerdere modellen uitbrengen. Wij hadden al een 6 inch platform en als je daar een kleine ionenstraalkolom op zette, dan had je bij wijze van spreken al een verkoopbaar apparaat.’
Maar Swanson is sceptisch, hij heeft net een mislukt avontuur achter de rug met een andere platformleverancier. ‘Het heeft heel wat bezoeken en gesprekken met zijn collega’s en zijn raad van commissarissen gekost’, zegt Van der Mast. Uiteindelijk wordt besloten samen een dual beam-apparaat te maken voor 6 inch wafers. Daarna ook een 8 inch platform, waarvoor subsidie beschikbaar komt.
In de loop van het 6 inch dual beam-project stelt Van der Mast voor om gewoon eens te proberen om een eenvoudig focussed ion beam-apparaat samen te stellen op het Philips platform. ‘Gewoon enkel beam en kijken hoe moeilijk dat is.’ De test blijkt onverwacht succesvol. ‘Het project was klaar en we verkochten er ineens tientallen. Heel grappig, het liep als een trein.’
Enkelkoloms ionbeam voor 8 inch wafers
Intel vraagt vervolgens aan FEI of het een enkelkoloms ionbeam-apparaat kan ontwikkelen voor 8 inch wafers – de plakkenstandaard die dan net door de markt is omarmd. Van der Mast stelt voor om meteen een 8 inch dual beam-machine te maken, een apparaat dat kan kijken met elektronen en bewerken met ionen. Intel bedankt vriendelijk, maar FEI en Philips besluiten de dual beam-variant toch te ontwikkelen. Ze proeven interesse uit de markt, maar er ligt ook subsidie in het verschiet.
Wat blijkt, als de ontwikkeling in 1993 gereed is, bestelt Intel prompt een dozijn 8 inch dual beams. ‘Een grote klapper.’ Even later gaat ook Seagate de instrumenten gebruiken.
Heeft Van der Mast pogingen gedaan om Intel in het voortraject te overtuigen van dual beam-technologie? Nee, zegt hij, dat zou weinig zin hebben gehad. ‘Als een dergelijk bedrijf voor een specifiek project eenmaal een besluit heeft genomen over de aanschaf van apparatuur, dan veranderen ze niet zo snel. Als je dan als leverancier gaat zeggen dat ze waarschijnlijk veel meer aan een dual beam hebben, dan druk je op een verkeerde knop. In dit geval konden we beter zorgen dat we de dual beam achter de hand hadden en konden leveren op het juiste moment.’
Beklemmend gevoel van afhankelijkheid
Het succes is een steun in de rug voor de beursgang van FEI, in juni 1995. Daarbij haalt het bedrijf 23,8 miljoen dollar op. Maar met alle voorspoed ontstaat ook een beklemmend gevoel van afhankelijkheid. ‘Na enige tijd ontstond er angst, zowel bij FEI als Philips. Want als de business zo groeit en je bent alleen maar via een partnership aan elkaar verbonden, dan voelt dat niet prettig.’
FEI gaat op veilig spelen. Het begint grote aantallen platforms te bestellen. Om lagere prijzen te bedingen, maar ook om voorraad te hebben bij calamiteiten. ‘Garantiebuffers, er werden allerlei rare dingen gedaan. Het kostte geld, maar dat was geen echt probleem. De apparaten brachten veel op.’ Uiteindelijk besluiten FEI en Philips te onderzoeken hoe ze kunnen samengaan.
Aan de onderhandelingstafel ziet Philips zich geconfronteerd met een door FEI ingehuurd team van door de wol geverfde Amerikanen. Die beargumenteren dat het groeipotentieel van ionenoptiek voor de halfgeleiderindustrie veel groter is dan de ouderwetse TEM’s en SEM’s van Philips. De Nederlandse onderhandelaars gaan vervolgens bij Van der Mast te rade. Hebben ze in Eindhoven misschien ook een technologie in de pijplijn met geweldig veel potentie om de waarde van Philips Electron Optics op te krikken?
Bod van 600 duizend dollar
Van der Mast oppert dat Electro Scan in Boston wellicht uitkomst biedt. Dat bedrijf ontwikkelt in die tijd zogenaamde environmental scanning electron microscopes (ESEM’s), ook wel wet SEM genoemd. Philips levert zijn SEM-basisplatform ook aan Electro Scan, een vergelijkbare constructie als met FEI. Op dat moment belooft de ESEM-technologie waferinspectie te vereenvoudigen, omdat er geen hoogvacuüm voor nodig is.
‘Als we Electro Scan kopen, dan kunnen we zeggen dat we ook een technologie hebben die wel eens heel belangrijk zou kunnen worden in de waferindustrie’, adviseert Van der Mast de onderhandelaars van Philips. ‘Dat was natuurlijk een slag in de lucht’, zegt hij daar nu over, ‘maar Electro Scan had duidelijk interesse van chipfabrikanten. Er was alleen nog geen apparaat verkocht.’
Met Electro Scan gaat het financieel niet lekker, weet Van der Mast. De ontwikkeling gaat meer tijd kosten en hij vermoedt dat de oprichters wel oren hebben naar een deal. ‘Het was in de week van Koninginnedag. Om het nog in de onderhandelingen te kunnen stoppen, moesten we aan het einde van de week een handtekening hebben voor een optie op dit bedrijf. Van der Mast: ‘Ik ben naar Electro Scan gegaan, aan de directeur verteld dat ik een tijdvenster had van enkele dagen en heb een aanbod gedaan. Ik mocht geloof ik 600 duizend dollar bieden.’
Philips Legal uit New York
Electro Scan laat weten dat het bod te laag is. ‘Dat is het foute antwoord, zei ik. Meer kan ik er niet voor geven, maar laten we een constructie verzinnen zodat jullie het wel willen verkopen.’ Dat leidt tot de afspraak dat de aandeelhouders enkele tienduizenden dollars per verkochte ESEM krijgen als het gaat lopen. Van der Mast: ‘Ik had drie dagen en daarin kreeg ik ook nog Philips Legal uit New York over mij heen. Die raadden me dringend aan om nogmaals alles te checken. Daarmee schoven ze weken werk naar mij toe. Die tijd hadden we niet, dus we namen het risico en negeerden het advies. Dat was immers dringend, niet dwingend.’
Van der Mast tekent de intentieverklaring met Electro Scan op het moment dat divisiedirecteur Fred Bok, met vakantie is. Eenmaal terug op het werk, hoort van der Mast dat de medewerkers van Fred Bok hem hebben geïnformeerd: u hebt net een bedrijf gekocht. ‘Of hij blij was? Hij heeft me niet ontslagen.’
Philips’ belang van 55 procent in FEI
In september van 1996 kondigt FEI de reverse take-over officieel aan. Het persbericht stelt dat Philips Electronics een belang krijgt van 55 procent in de nieuwe microscopenbouwer. De Nederlandse afdeling gaat verder onder de vleugels van FEI Company. Op dat moment werken er ongeveer negenhonderd mensen voor het bedrijf waarvan de beurswaarde op dat moment een kleine honderd miljoen dollar bedraagt.
Van der Mast verhuist naar de VS, waar hij bij FEI verantwoordelijk wordt voor productie, r&d en marketing. Nog iets later gaat hij de halfgeleiderdivisie runnen. Bij de start merkt hij dat de zakelijke deal zich niet vanzelf vertaalt in een samensmelting van culturen. ‘De Amerikanen en de Nederlanders gingen in onderlinge strijdmode. Dat was heel jammer en moeilijk op te lossen’
Hij relativeert zijn opmerking door te benadrukken dat er op veel terreinen wel goed werd samengewerkt. Maar hij wil de animositeit best verduidelijken: ‘Beiden wilden graag bewijzen dat zij de belangrijkste club waren. Over het algemeen was er een neiging van de Amerikaanse helft om de zaken in Nederland te besturen. In Nederland was er de neiging om zich daar niet zo veel van aan te trekken. Dat is heel lang zo gebleven en ik vermoed dat het karwei nog steeds niet helemaal af is.’
Nederlandse ceo moet luisteren naar medewerkers
Voor het hogere management is de kloof het grootst. ‘Als ceo in de VS vind je toch dat iedereen moet doen wat jij zegt, zonder voorwaarden. Een Franse ceo vindt enige discussie nog oké, maar die is ook onverbiddelijk. In Nederland mag je gewoon ‘nee’ zeggen, je zin proberen door te drijven en dan kom je er uiteindelijk samen uit. In Nederland moet een ceo ook luisteren naar zijn medewerkers.’
Van der Mast voelt in de beginjaren van het samengaan geen echte beperkingen, maar dat verandert nadat Vahe Sarkissian tot ceo wordt benoemd. Sarkissian is ceo geweest bij metrologiebedrijf Metrologix en deed daarvoor operations bij SVG. ‘Met Sarkissian heb ik een jaar lang wanhopig geprobeerd samen te werken.’ Gevraagd naar voorbeelden: ‘Op een gegeven moment hadden wij in het managementteam een forse discussie over een aantal projecten. Voor mijn gevoel ging dat over een goed onderwerp. Sarkissian wilde per se dat er iets zou gebeuren. Op een gegeven moment pakte hij een stapel boeken hoog op en knalde die op de tafel en begon te schreeuwen dat hij wilde dat het op zijn manier zou gaan. Ik schoot in de lach en heb uitgelegd dat het toch de bedoeling was om tot de beste beslissing te komen.’
Op een ander moment zat de hele bestuurskamer vol met een twintigtal hoofdzakelijk Nederlandse softwareontwikkelaars. ‘Sarkissian wilde een grote verandering doorvoeren en daar wilde hij met die club over praten. Een aantal mensen liet blijken dat ze het niet zo’n goed idee vonden. Maar op een gegeven moment zei hij: oké jongens, het is klaar. De mensen die het met mij eens zijn, gaan hier staan en de mensen die het niet met mij eens zijn, die gaan daar staan en daar zoeken we ander werk voor. Het was meedoen of wegwezen.’
Opnieuw schiet Van der Mast in de lach. ‘Het was mijn team, dus ik zeg: Vahe, die mensen zeggen toch wel belangrijk dingen, misschien moeten we het gesprek toch even voortzetten. Het is toen niet geëscaleerd, maar dit soort situaties maakte ik keer op keer mee. Ik wil niet over hem oordelen als mens, maar het ging gewoon niet. Terwijl ik graag met hem samenwerkte, want ik vond dat belangrijk voor het bedrijf.’
Dan belt een headhunter Van der Mast vanuit Londen: of hij zin heeft om een joint-venture van ASML en Applied Materials te runnen op het gebied van elektronenlithografie. ‘Het telefoontje kwam op het juiste moment, maar ik verliet FEI met pijn in het hart.’
