ASM stapt uit rapid thermal processing

ASM International stapt dit jaar nog uit de markt voor rapid thermal processing (RTP). Het Bilthovense bedrijf wil deze activiteiten het liefst verkopen aan een partij die de ontwikkelingen en service van bestaande systemen voortzet. De beslissing voor de afsplitsing maakt onderdeel uit van een plan om de front-end activiteiten gezond te maken.

’Hoewel wij en verschillende van onze klanten zijn blijven geloven in de doorbraaktechnologie van onze Levitor RTP-systemen, hebben we besloten om ons te richten op onze kernsterktes in front-end‘, zegt Chuck del Prado, topman van ASM International. Tot zijn kernsterktes rekent ASMI atoomlaagdepositietechnologie (thermisch en met plasma‘s, zowel in batch als met enkele wafers), epitaxie voor enkele wafers en thermische en plasma-CVD batchprocessen.

ASMI stapte eind jaren negentig in rapid thermal processing. RTP is een processtap waarbij de wafers zeer snel verhit worden, tot 250 graden per seconde. Ze zweven daarbij tussen twee gaskussens, zodat ze niet beschadigen. Marktleider Applied Materials en Mattson Technology brachten systemen op de markt waarbij halogeenlampen voor de verhitting van de wafers zorgden. ASM gebruikt daarentegen de gaskussens voor verhitting, wat verschillende voordelen had.