Nearfield en Imec bundelen krachten in 3D-halfgeleidermetrologie

Nearfield Instruments is een strategisch ontwikkelproject gestart met Imec. In het kader van de meerjarige samenwerking plaatst de Rotterdamse fabrikant van metrologiesystemen zijn vlaggenschipsysteem, de Quadra, bij het onderzoeksinstituut in Leuven. De twee organisaties gaan samen nieuwe generaties metrologieoplossingen ontwikkelen voor kritieke uitdagingen in de halfgeleiderproductieketen, waaronder metrologie van high-NA-euv-resists, reliëfmetingen van cfet-logic en metrologie voor 3D heterogene integratie.

‘De samenwerking met Imec stelt ons in staat de grenzen van procescontrole in de halfgeleiderproductie te verleggen,’ zegt Nearfield-ceo Hamed Sadeghian. Imec-topman Luc Van den hove voegt daaraan toe: ‘We werken aan baanbrekende innovaties die de toekomstige chipproductie en digitale voortgang mogelijk maken. We zijn blij met Europese initiatieven om geavanceerde apparatuur te ontwikkelen die inspeelt op urgente noden en willen onze pilotlijn inzetten om deze mogelijkheden te demonstreren.’