Hightech-magneetresearch zonder Apptech

ASML heeft de TU Eindhoven in de hand genomen om een geavanceerd draadloos zwevend magneetplatform te ontwikkelen voor toekomstige lithografische systemen. De research is ondergebracht in het vierjarige project Advanced Single-Stage Planar Actuator (Aspa) van het Programme for High-Tech Systems (PFHTS). Het totale budget is 4 miljoen euro.

Grote afwezige is Philips Applied Technologies, traditioneel de hofleverancier van geavanceerde motionkennis bij ASML. In Aspa, waarin ook Prodrive, Singulus, Tecnotion en VDL-ETG deelnemen, zit Apptech niet eens als partner. En dat, terwijl het voormalige Philips CFT altijd aan de basis stond van ASML‘s geavanceerde motion voor waferstages. Het leverde bijvoorbeeld de technologie voor de luchtgelagerde H-drive-waferstages van de Twinscan, de machinelijn waarmee ASML momenteel grote successen boekt.

Na luchtlagering past ASML al magneetlagering toe in zijn EUV-systemen – ook al bij Apptech ontwikkeld. Het huidige systeem bestaat uit een zwevende stage met elektromagneten boven een vaste tafel met vaste magneten. In de verre toekomst gaat dat wellicht naar een concept van vliegende magneten met een vaste tafel met elektrische spoelen. Apptech demonstreerde het al in 2006 en de TUE laat nu een variant zien met draadloze energieoverdracht en realtime communicatie naar de stage.