Erik Loopstra (1957 – 2024), ‘Een uitstekende probleemoplosser met een enorme verbeeldingskracht’
Erik Loopstra was jarenlang een drijvende kracht achter ASML’s engineering in Veldhoven. Veel (oud) collega’s zien hem als een aanjager van de machine-ontwikkeling bij het lithografiebedrijf, totdat hij in 2018 naar partner Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) ging om daar de mechatronica-competentie een zet te geven. Waar de begin dit jaar gepensioneerde Martin van den Brink meer in contact stond met klanten en zo markt en technologie verbond, zo was Erik Loopstra meer een van de grote aanjagers binnen het bedrijf.
In de hightechindustrie kende iedereen zijn reputatie, maar voor de buitenwereld bleef hij lange tijd onzichtbaar. Dat zat Loopstra als gegoten. ‘Hij voelde zich altijd nog op zijn gemak bij de technisch specialisten’, zegt Wilbert Kohler die hem de laatste jaren van nabij meemaakte bij Zeiss. ‘Vaak verliezen mensen op zijn niveau dat, omdat het begrip ze op een gegeven moment ontbreekt als ze te lang ‘op een hoger niveau’ hebben gezeten.’ Volgens Kohler was Loopstra een voorbeeld van iemand die vanuit een hoge positie toch heel bereikbaar bleef, wat hielp om goede oplossingen te vinden. ‘Want uiteindelijk is het teamwerk.’
Op de momenten waarop hij in de schijnwerpers werd gezet, voelde Loopstra zich zichtbaar ongemakkelijk. Zoals in de promotietour rond de nominatie voor de Europese patentprijs in 2018, waarmee hij voor het eerst blootgesteld werd aan het grote publiek. Die onderging hij lijdzaam. ‘We grapten met elkaar dat een leven als supermodel veel moeilijker is dan dat van een technicus’, zegt Vadim Banine, die de prijs samen met hem ontving. ‘Wij hadden ons niet gerealiseerd hoeveel tijd het zou kosten om een paar goede foto’s en een kort promotiefilmpje op te nemen.’ Door de promotietoer die ze met hun partners maakten zegt Banine dat hij Loopstra ook van een andere kant leerde kennen, ‘die van zorgzame echtgenoot’.
No-nonsense
‘Erik was een uitmuntende systeemingenieur die een zeer substantiële bijdrage heeft geleverd aan veel van ASML's sleuteltechnologieën’, schrijf ASML in een persbericht. Het bedrijf brengt zelden meer naar buiten wanneer medewerkers met pensioen gaan of overlijden. Hoofd Technologie Jos Benschop in de uiting naar de pers: ‘Weinig mensen hebben zo'n grote bijdrage geleverd aan het succes van ASML als Erik. Zijn nieuwsgierigheid, zijn gedrevenheid en zijn vermogen om inzichten om te zetten in praktische doorbraken maakten Erik tot een van onze beste machinebouwers ooit. Hij was een inspiratie voor velen van ons en zal zeer gemist worden.’ ‘Erik had een uitstekend gevoel voor welke uitdagingen het bedrijf bezig hielden en raakte vervolgens persoonlijk bij deze projecten betrokken’, voegt Markus Knuefermann toe, hoofd productontwerpmechanica en verificatie bij Zeiss SMT. ‘De focus waarmee hij deze problemen aanpakte was indrukwekkend. Zijn doel was altijd om de problemen zo snel en effectief mogelijk op te lossen. Als Erik met een probleem zat, bestond er voor hem bijna niets anders.’
Net als Van den Brink was Loopstra een representant van ASML’s no-nonsenseontwikkelcultuur. Op zijn bureau had hij een miniatuurversie van de Sprookjesboom uit pretpark de Efteling staan. Hij wees ernaar als in een project weer eens te veel werd gedroomd en gehoopt, of als iemand in een discussie zijn standpunten niet voldoende kon onderbouwen. ‘Erik kon dat altijd haarfijn duiden’, zegt een betrokkene die wel eens de oren door hem gewassen kreeg. ‘Als je iets niet zeker wist, of het niet goed kon onderbouwen, dan kon hij erg confronterend zijn.’ Velen brengen de uitspraken in herinnering waarvan hij zich bediende, zoals ‘Hulp is pas hulp als ’t helpt’ en 'Vele handen maken licht werk zwaar.’ Van zijn ‘Stel niet uit tot morgen wat je vandaag nog een ander kunt laten doen’ is ASML doordrenkt.
‘Erik was een briljant technicus met veel inzicht en creativiteit’, zegt Hans Sluiters, die hem in de jaren negentig vanuit het ingenieursbureau CCM leerde kennen. ‘Hij was naast Van den Brink de enige die alle machinemodules en hun interfaces begreep. Zijn stijl was focus, het doel nooit uit het oog verliezen, de machine moest min of meer mate werkend naar de klant en wel zo snel mogelijk.’ Over Loopstra’s manier van uitdagen: ‘De mietjes en geknakte ego’s zeiden dat hij Brinks stijl imiteerde, maar dat is mijns inziens niet waar, hij was bot en intimideerde, maar was absoluut authentiek.’
Fijnmechanische techniek
Erik Loopstra stamt uit een van oorsprong Friese familie en groeide op in een klein dorp in Noord-Holland. Hij studeerde begin jaren tachtig af in de groep Fijnmechanische techniek van hoogleraar D. de Jong in Delft. Daarna ging hij aan de slag bij Philips in Dordrecht en later in Heerlen, bij de net opgeleverde productielijn voor Philips LCD Cells & Modules die later naar het NatLab-terrein verhuisde. In 1991 stapte Looptra over naar ASML.
Loopstra ontwikkelde zich bij ASML tot een brede technicus die al snel kon meepraten over regeltechniek en optiek. ‘Zijn vermogen om nieuwe dingen te leren was verbazingwekkend’, zegt Vadim Banine, die jaren met hem samenwerkte aan EUV-lithografie. ‘Erik was geen natuurkundige. Hij kon aanvankelijk compleet verkeerde eenheden gebruiken in een natuurkundig vraagstuk, maar na twee weken zette hij met zijn opgedane kennis een gespecialiseerde fysicus op zijn nummer.’
Martin van den Brink over Loopstra’s inzicht: ‘Wat mij bijvoorbeeld verbaasde was dat hij mij precies kon vertellen welke schroefdraad er op de trappedalen van de fiets zaten en waarom.’ Van den Brink had de vraag aan wel dertig mechanisch ingenieurs gesteld. ‘Ook aan toppers. Erik was de enige mechanicus die het mij kon vertellen.’
Rolmodel
Loopstra’s vermogen om nieuwe dingen te leren werd door andere collega’s met verbazing aanschouwd. Alles waar hij mee werkte wilde hij doorgronden. Die eigenschappen zorgden er samen met zijn theoretische en praktische talent voor dat hij zich ontwikkelde tot een top-systeemarchitect. ‘Erik was buitengewoon gedreven en begaafd in het opzetten van een goede systeemarchitectuur’, zegt collega Hans Vermeulen die in de begintijd van EUV vanuit Philips CFT met Loopstra samenwerkte aan de architectuur van de eerste EUV-alfademotool. ‘Hij deed dat aanvankelijk met grote-stappen-snel-thuis, maar ook bijzonder kritisch met oog voor detail.’
Deeltijd-hoogleraar Vermeulen noemde Loopstra tijdens zijn inaugurele rede in 2016 als een van zijn grote voorbeelden. ‘Geen uitdaging was te groot voor hem. De snelheid waarmee hij dacht en schakelde, zijn uitgebreide systeemkennis, zijn behendigheid om in en uit te zoomen en zijn creativiteit maakten hem inspirerend voor mij als rolmodel’, aldus Vermeulen.
Ook Jan van Eijk, die de jonge Loopstra leerde kennen als student-begeleider in de Delftse groep van De Jong, ziet in hem vooral een systeemdenker. ‘De werkwijze van Erik was sterk vanuit de systeembenadering. Hij bemoeide zich met alle facetten van de techniek en wetenschap. Heel breed. Langzaam lukte het hem om zich te omringen met sleuteltechnici die in de verschillende gebieden de goede invulling weten te maken.’
PAS5500
Loopstra werd in zijn beginjaren bij ASML onderdeel van het PAS5500-team, waarbij hij zich verdienstelijk maakte met het productierijp krijgen van het volledig nieuwe modulaire machineontwerp. Met de PAS5500 zette het Veldhovense bedrijf zich vanaf 1993 echt op de kaart in de chipindustrie. Daarna was Loopstra betrokken bij nagenoeg alle significante machineontwikkelingen, zoals de evolutie van de PAS5500 naar een step-en-scan-systeem in de tweede helft van de jaren negentig, de introductie van het Twinscan-systeem met twee waferstages na de millenniumwisseling, de upgrade naar immersie direct daarna en de introductie van EUV. Banine: ‘Alle belangrijke ASML-producten dragen Eriks stempel.’
Chicken spec
Philips’ Centrum voor Fabricage Techniek (CFT) deed eind jaren negentig nog de voorontwikkeling voor ASML. Onder meer voor het step-en-scan-principe in de PAS5500. Loopstra nam daarbij vanuit ASML deel in de betreffende projecten. Daarbij kreeg hij steeds meer een leidende rol en werkte veel samen met Ton Peijnenburg en Jan van Eijk. ‘Elke week, maandenlang, stoeiden we met Martin en Erik over de specs’, herinnert Van Eijk zich. Illustratief noemt hij de discussie over de maximale versnelling van de reticlestage (die het zware masker tegengesteld aan de scannende waferstage moet bewegen). ‘In de eerste scanner bereikten we 30 m/s2, voor de Twinscan wilden we bij CFT naar 50 m/s2 gaan, maar Erik noemde dat een chicken spec. Dat was voor mietjes. Hij wilde naar 80 m/s2. Uiteindelijk werd het toch 50 m/s2 voor de eerste generatie, maar de drive van Erik ging verder en nu praten we ongegeneerd over 200 m/s2’, aldus Van Eijk.
Bij de Twinscan droeg Loopstra bij aan de ontwikkeling van een systeem met balansmassa’s en de langeslag met korteslag stages met laser-interferrometrie. Voor het EUV-alfademotool vormden de planaire motoren en technologie in vacuüm de grote uitdagingen, voor high-NA zat het in zeer snelle stages en grote, scannende optiek. Voor high-NA moest bovendien zeer omvangrijke metrologie worden gebouwd om de spiegels met multilagen op picometerniveau te bemeten. Als een van de leiders in de ontwikkeling gaf Loopstra het mede vorm. ‘Ik werk aan de toekomst,’ zei hij in 2009 in een interview met Eindhovens Dagblad, ‘aan machines die nu nog niet bestaan, maar over een paar jaar misschien wel.’
Grenzen verleggen
Als iemand met de natuurlijke drive om grenzen te verleggen werd Loopstra vooral ingezet tijdens de conceptuele fase van nieuwe systemen. ‘Als creatieve geest was hij bij de latere fase van ontwikkelen minder handig’, verduidelijkt Van Eijk. ‘Het bedenken van betere oplossingen staat in dat stadium het realiseren van de gekozen oplossing in de weg.’
Loopstra is het meest geëerd voor zijn baanbrekende werk aan EUV. Daarvoor ontving hij in 2018 samen met Vadim Banine de al genoemde European Inventor Award's Popular Prize. Banine daarover: ‘Erik werkte met volle overgave aan een product. Dan was er niets dat onoplosbaar was. Hij ging door elke muur. Het was een mix van vindingrijkheid, enorme gedrevenheid, sterke focus en totale toewijding.’
‘Erik heeft een cruciale rol gespeeld bij het vormgeven van de mechanische en mechatronische concepten van de optiek van de alfa-demotool,’ zegt Peter Kuerz, hoofd van de afdeling high-NA-EUV- lithografie bij Zeiss SMT. Kuerz en Loopstra maakten deel uit van het team dat 25 jaar geleden begon met de eerste grote EUV-ontwikkeling. ‘Later waren Erik's expertise en oordeel van groot belang bij het ontwerpen van het belichtingssysteem en de projectieoptiek voor EUV-lithografie’, voegt Kuerz toe. Een van de grootste uitdagingen bij de ontwikkeling van high-NA-EUV-lithografie was de spiegelmetrologie. ‘Een gebied waar we onbekend terrein betraden’, zegt Kuerz. ‘Eriks visionaire denken leidde tot een geheel nieuw concept voor het meten van EUV-spiegels met picometerprecisie. Erik had het unieke vermogen om geheel nieuwe concepten te bedenken en ons team het vertrouwen te geven dat we samen alles konden bereiken. Hij was een uitstekende probleemoplosser met een enorme verbeeldingskracht.’
Terugkijkend ziet Van Eijk de ontwikkeling van de Twinscan met twee waferstages als Loopstra’s belangrijkste bijdrage. ‘Voor de Twinscan heeft hij zich hard gemaakt om de waferstages met 3D-balansmassa’s uit te voeren’, verduidelijkt van Eijk. ‘Dat was overdone in de eerste fase van de ontwikkeling, toen het nog om relatief lage versnellingen ging. Een 2D-oplossing was eenvoudiger en goedkoper.’ Maar Loopstra wilde volgens Van Eijk voort. ‘Hij heeft de 3D-oplossing doorgedrukt met de opmerking ‘Als het niet nodig is, kunnen we hem altijd nog vastzetten in rotatie’. Dat experiment (het vastzetten in rotatie) was te moeilijk en is nooit gedaan, maar de 3D-versie is nu volgens ASML onontbeerlijk’, aldus Van Eijk. ‘De EUV-machines bouwden daar mechatronisch gezien op voort en ook daarin is zijn bijdrage groot geweest.’
Ook de introductie van de planaire motoren werd sterk door Loopstra ondersteund. Wederom lag hier de keuze voor een baanbrekend principe niet voor de hand. ‘Pas na enige weerstand is dit concept door ASML overgenomen en succesvol geïmplementeerd.’
Cowboycultuur
Om Zeiss te helpen - enkele betrokkenen plaatsen aanhalingstekens rond dit laatste woord - in de revolutie naar een high-NA-EUV-systeem ging Loopstra meer bij ASML’s partner werken. Hij werkte aanvankelijk vanuit ASML aan zowel de illuminator optiek (die het masker belicht) en de projectie optiek (dat het beeld van het reticle op de wafer afbeeldt). Na zijn overgang naar Zeiss begon hij aan het gigantische meetsysteem dat in tweevoud werd opgebouwd om de high-NA-spiegels in het maakproces in Oberkochen te bemeten en te kwalificeren.
Hij emigreerde in 2018 permanent naar Duitsland en zorgde er daarmee voor dat Zeiss een kennisboost kreeg in complexe mechatronische controlsystemen. Door zijn brede interesse en talent om zich snel een onderwerp als optiek eigen te maken was de overstap naar Zeiss ‘heel natuurlijk, bij onze meest recente machinerevolutie high-NA’, aldus Martin van den Brink.
SVG en Cymer
Loopstra hielp zoals gezegd bij de ontwikkeling van meettechnieken die Zeiss nodig had voor EUV en high-NA optieken. ‘Dat in combinatie met simulatie heeft ertoe geleid dat we in de afgelopen maanden perfecte lithografische records neer hebben gezet met lijntjes van 7 nanometer met een 0,5 nanometer positioneernauwkeurigheid’, zegt Van den Brink. ‘Een huzarenstukje waar Erik ook in de laatste jaren aan heeft bijgedragen. Het voelde of hij nog steeds bij ASML werkte, ook al zat hij de laatste jaren bij Zeiss.’
Minder bekend is Loopstra’s actieve rol bij de integratie van SVG Wilton met ASML in het eerste decennium na de overname van het Amerikaanse lithobedrijf. Daarbij hielp hij de competentie in Wilton opschalen naar het huidige niveau: een volledige verantwoordelijkheid van de bovenkant van de machine waaronder de reticlestage. Bij Cymer in San Diego was Loopstra bij een soortgelijke ontwikkeling betrokken. Van den Brink: ‘Het gemak waarmee Erik het respect afdwong van nieuwe groepen zoals Wilton, San Diego en Oberkochen zegt natuurlijk alles over zijn onbetwiste kwaliteiten, zijn redeneerlijn was vaak zeer overtuigend.’
Cultuurschok
Nederlanders die Loopstra in Oberkochen van nabij meemaakten zeggen dat hij er samen met zijn team ASML’ers voor een cultuurschok zorgde. ‘Hij was bij uitstek degene die op het hiërarchische bastion van Zeiss kon beuken om iets van de grond te krijgen’, zegt een getuige. ‘Het was een cultuurschok. Zo’n cowboycultuur hielden ze daar niet voor mogelijk, zelfs niet op een moment dat ze ASML al ruim dertig jaar kenden. Het was no-nonsense, niet lullen, maar doen.’
De Duitsers in Oberkochen laten weten dat ze het iets anders beleefden. Toen het mechatronicateam bij Zeiss te horen kreeg dat Erik Loopstra met andere ASML-engineers in Oberkochen kwam werken aan een ‘one company approach’ om in een gemengd Zeiss-ASML-team ‘aan de beste oplossing voor de eindklant te werken’ vreesden de Duitse engineers aanvankelijk een overname door de Nederlanders. Die angst verdween snel. ‘Het was echt verbazingwekkend hoe snel Erik het vertrouwen van het Zeiss-team had gewonnen’, zegt een betrokken technicus. ‘Het was zijn speciale mix van leiderschap, humor en eerlijkheid die hem in staat stelde ons ervan te overtuigen dat die ‘one company approach’ inderdaad een goede manier van werken is. Hij had er niet meer dan twee weken voor nodig.’
Klik-klak spiegels
Loopstra bracht volgens deze Zeissiaan energie in het team. In een discussie over verwisselbare spiegels richtten de Duitse ingenieurs zich van nature op risico's en problemen. Na veel frustrerende vergaderingen over de vraag of verwisselbare spiegels überhaupt mogelijk waren kreeg ‘verwisselbaar’ daarmee een negatieve connotatie. ‘Erik legde op een gegeven moment in een [ASML-Zeiss] interface meeting met Martin van den Brink zijn concept uit, maar noemde het niet ‘verwisselbare’, maar ‘klik-klak’ spiegels, om duidelijk te maken hoe snel je de spiegels zou kunnen vervangen. Vanaf dat moment was het duidelijk dat we spiegelmodules gingen ontwikkelen die heel, heel snel verwisselbaar waren’, vertelt de engineer met smaak. ‘Erik veranderde het onderwerp van een last in een uitdaging waaraan je plezier kan beleven.’
Ook in Duitsland greep Loopstra naar zijn kenmerkende uitspraken. Om problemen in discussies open minded te benaderen, gebruikte hij de formulering: ‘Everything is possible, but you might not like the consequences’, in de betekenis van ‘sta open voor nieuwe ideeën, denk na over de consequenties, maar laat je er niet door hinderen’. Zijn team apprecieerde dit zozeer dat ze een T-shirt lieten drukken met voorop de slogan ‘Everything is possible, but you might not like the consequences’. De zwarte shirts werden volgens de betrokkene voor het eerst door Loopstra’s teamleden bij een interface meeting gebruikt. Lachend: ‘Ik had de indruk dat sommigen in het management zich achter de oren krabden en zich afvroegen of we niet te hard van stapel waren gelopen.’
Coach
Zeiss realiseerde zich al langer dat het veel meer ingenieurs nodig had met technische leiderschapsvaardigheden om complexe mechatronische systemen te ontwikkelen. Loopstra zag volgens ingewijden bij Zeiss de kans dat hij jonge system engineers kon vormen en greep die. De afgelopen jaren was hij nauw betrokken bij de Zeiss Expert Ladder, een programma dat werknemers in staat stelt zich te richten op hun technische expertise en hun carrière als technologie-expert. Het Zeiss-management zag dat Loopstra een goede coach was, overal waar hij werkte bevorderde hij jonge ingenieurs. ‘Die leerlingen realiseerden zich dat het heel goed werken is met Erik’, zegt een technisch manager die dit van nabij meemaakte. ‘Wie met Erik werkte, kwam er al snel achter dat pure technische competentie niet genoeg was om indruk te maken als ingenieur. Je moet ook eerlijk zijn en een teamspeler die nooit het doel uit het oog mag verliezen. Zeiss installeerde een positieve feedback-systeem en heeft nu veel meer ingenieurs die hun manier van denken en handelen te danken hebben aan de coaching van Erik.’
Loopstra vertelde er enkele weken voor zijn dood trots over aan zijn oud-studiebegeleider Van Eijk. Die karakteriseerde hem in zijn onstuimige jaren nog als ‘niet erg coachend’. ‘Maar Erik verraste mij met de mededeling dat hij binnen Zeiss een rol had als coach van aankomende techneuten. In het verleden was hij meer gedreven, zonder geduld voor leerprocessen.’
Eerste fellow
In 2000 kreeg Loopstra al erkenning voor zijn opmerkelijke technische bijdragen. Hij werd benoemd tot een van de eerste twee ASML-fellows. Een kleine tien jaar later werd hij de eerste senior fellow van het bedrijf. In 2012 ontving hij de ‘Martin van den Brink Award’ voor systeemarchitecten van de Dutch Society for Precision Engineering (DSPE). Het was de eerste keer dat de DSPE de prijs uitreikte en het event stond vrijwel geheel in het teken van de naamgever. Loopstra zelf kon er niet mee zitten. Hij was niet een persoon die de schijnwerpers opzocht.
Ook Zeiss gaf Loopstra erkenning voor zijn baanbrekende prestaties door hem al na enkele jaren te benoemen tot fellow. Persoonlijk raakte Loopstra verknocht aan de regio Baden-Württemberg. Hij hield van het landschap en kocht ‘in the middle of nowhere’ op ruim een half uur rijden ten oosten van Oberkochen een vierhonderd jaar oude krakkemikkige boerderij met een vervallen schuur. Het project van Loopsta en zijn vrouw raakte al snel bekend onder zijn intimi bij Zeiss. ‘Ze begonnen met het herbouwen van de lelijke schuur en staken echt veel energie in deze renovatie’, zegt een van hen over de verbouwing. ‘Het was fantastisch om te zien wat die twee bereikten met dat oude huis. Ongelooflijk hoeveel energie Erik had. Voor Zeiss ging hij met veel meer dan honderd procent en in zijn vrije tijd verbouwde hij zijn nieuwe woning.’
Update met aanvullingen van Zeiss op 4 november 2024.
