Achtergrond

High-NA-scanners hebben stages met meer pit nodig

Om de doorvoersnelheid van high-NA-scanners op peil te houden, moesten de ingenieurs van ASML de stages in de high-NA scanners flink opvoeren, terwijl de positioneringnauwkeurigheid natuurlijk ook beter moest.

Paul van Gerven

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Login

Premium lid worden

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.