Achtergrond

Metrologisch hoogstandje nodig voor fabricage high-NA-spiegels

Poetsen, meten, nog meer poetsen en nog meer meten – Zeiss weet onderhand wel hoe je EUV-spiegels moet maken. Maar voor high-NA-spiegels is daarvoor wel een kunststukje in de metrologie nodig.

Paul van Gerven

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Login

Premium lid worden

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.