Achtergrond

High-NA-optiek: een strijd om de hoeken

De numerieke apertuur (NA) vergroten is de meest praktische manier om de resolutie van EUV-scanners te verhogen, maar daarvoor moet de EUV-optiek flink op de schop.

Paul van Gerven

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Login

Premium lid worden

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.