Zintuig en zenuwcentrum

René Raaijmakers
Leestijd: 3 minuten

ASML is steeds meer spin in het chipfabrieksweb. Met de juiste informatie kunnen de waferscanners uit Veldhoven bijvoorbeeld fouten corrigeren die andere apparaten in het proces maken. Foutje in de etser? Verhit de bakplaat van de wafertrack onregelmatig? Laat het de waferscanner weten en het komt goed.

Dit is nog maar het begin. Wie de potentie van lithografie op een rijtje zet begint het al snel te duizelen. Zo zijn intussen met computerlithografie afbeeldingsprocessen tot in groot detail door te rekenen. Dat zorgt voor minder fouten en een snellere ramp up van de fabricage. Dit rekenwerk is in de toekomst ook in te zetten om lithografische machines geheel automatisch af te stellen. Meer data betekent nauwkeuriger afstemmen, kleinere chips of minder uitval – in ieder geval hogere kwaliteit.

Al die terugkoppellussen maken de zaak er niet eenvoudiger op. De logistiek in chipfabrieken is al uiterst complex, maar daar komt nu een niveau bovenop. Als een lithografisch systeem weet langs welke individuele apparaten de wafers in een fab zijn geweest, dan kan het daarop inspelen. Alles bijhouden en doorrekenen is geen sinecure. Wafers gaan tijdens de chipfabricage tientallen malen naar de scanner en doorlopen honderden processtappen.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.

Gerelateerde artikelen