Verkooprestricties voor China dringen Nikon naar de marge in topsegment chiplitho

De door het Japanse ministerie van Handel aangekondigde exportbeperkingen dreigen van Nikon een marginale speler te maken in immersiesystemen.

Paul van Gerven en René Raaijmakers
5 april

Tijdens de presentatie van de cijfers over het derde kwartaal liet Nikon doorschemeren dat het Intel aan het verliezen was als klant. ‘In het verleden was meer dan 80 procent van de verkoop van onze ArF-lithografiesystemen geconcentreerd bij één Noord-Amerikaanse kernklant’, staat er in de door het Japanse bedrijf gepubliceerde vraag- en antwoordsessie.

Nikon verwacht dit boekjaar (dat loopt tot 31 maart) dertien ArF-systemen te installeren bij klanten. Het specificeert verder niet wat het aandeel droog en immersie is. Het verkocht in de eerste drie kwartalen van boekjaar 2023 negen nieuwe en veertien gebruikte lithografiesystemen. Samen met 37 lithosystemen voor platte schermen, vertegenwoordigen die een totale waarde van 1,12 miljard euro (162,9 miljard yen).

Nikons snelste ArF immersiescanner is de NSR-S635E met 275 wafers per uur. Foto: Nikon.

Nikon zegt last te hebben van ‘de zwakte in de halfgeleidermarkt’. Daardoor zijn leveringen van lithografiesystemen van dit boekjaar al naar volgend boekjaar verschoven. ‘Het is mogelijk dat sommige klanten de voor volgend boekjaar geplande installaties willen uitstellen tot het volgende boekjaar’, zegt het bedrijf over de huidige markt.

Dit boekjaar gaat naar Nikons verwachting meer dan de helft van de verkoopvolumes naar andere klanten dan zijn ‘Noord-Amerikaanse kernklant’. De diversificatie van Nikons klantenbestand naar Japan en andere delen van Azië zou moeten bijdragen tot een grotere inkomstenstabiliteit in zijn Precision Equipment Business in het volgende boekjaar en daarna.

Het is echter duidelijk dat ‘andere delen van Azië’ vrijwel geheel betrekking heeft op China. Voor dat land verwacht het Japanse ministerie van Handel in juli exportbeperkingen in te voeren voor apparatuur voor de fabricage van halfgeleiders, meldt Nippon. Het voorstel dwingt Japanse bedrijven in de sector toestemming te vragen aan de minister van Handel voor de export van 23 artikelen. China wordt niet als doel genoemd; er is toestemming nodig om naar elk land te exporteren.

Als de beperkingen van kracht worden, dan zal dit zeker betrekking hebben op Nikons immersiebusiness en die dreigt daarmee, in combinatie met het wegvallen van Intel, insignificant te worden.

De stap van Japan volgt op een intensieve lobby van de Amerikaanse regering, die er eerder in slaagde de Nederlandse regering ervan te overtuigen extra beperkingen op te leggen aan apparatuur voor het maken van chips. Ook Japan had in principe al ingestemd met de invoering van beperkingen, maar wachtte tot nu met een formele aankondiging.

Net als Japan heeft Nederland nog geen concrete maatregelen bekendgemaakt, maar ASML zei dat het verwacht dat de recentere modellen van DUV-immersiescanners zullen worden getroffen. Een woordvoerder van Nikon vertelde Reuters dat de verkoop van twee instrumenten waarschijnlijk zal worden beïnvloed.

Op Nikons website staan op de overzichtspagina voor litho momenteel twee immersiesystemen, daarnaast twee droge systemen (ArF en KrF) en een i-line machine. Het daadwerkelijke aanbod kan afwijken. ASML publiceert ook niet al zijn beschikbare producten.