Twinscans naar 165 plakken per uur

René Raaijmakers
Leestijd: 3 minuten

ASML liet vorige week weten dat een Taiwanese klant gedurende een hele dag een recordsnelheid van 150 wafers per uur had gehaald op een Twinscan I-Line-scanner. Deze machine, de XT:400F, is door ASML zelf gespecificeerd op een doorvoer van 135 plakken per uur. De Taiwanezen wisten er ruim 11 procent meer uit te persen.

’Het aantal belichtingsstappen is niet altijd hetzelfde‘, verklaart Frank Bornebroek, productmanager voor de XT:1000H, een KrF (248 nm) Twinscan die ASML volgend jaar voor het eerst levert. ’In sommige processen belichten chipfabrikanten minder velden dan onze standaard definitie. Wij gaan zelf uit van 125 velden om de hele plak te bedekken.‘ Over enkele maanden komt een nieuwe snellere I-Line-machine, de Twinscan XT:400G, op de markt met een officiële doorvoer van 150 wafers per uur.

De Nederlandse fabrikant van lithografische steppers en scanners heeft traditioneel een reputatie in doorvoer. De grotere productiviteit is een van de redenen waarom ASML uitgroeide van een marginale speler tot marktleider. De snelheidsverhoging is fenomenaal. In de jaren negentig verwerkten steppers ruim honderd 200 mm plakken per uur. De wafers zijn nu ruim twee maal groter, de snelheid ligt 50 procent hoger, dus scanners werden in een decennium pakweg zes maal productiever.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.