TNO en Zeiss kijken samen naar EUV-optica

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

TNO gaat Zeiss helpen het oppervlak van EUV-spiegels te bestuderen. Deze spiegels zijn uitermate gevoelig voor vervuiling, maar de chemie en fysica daarvan wordt nog niet goed begrepen. TNO en Zeiss zetten daarom samen een onderzoeksfaciliteit op om dat eens goed uit te zoeken. Het Nederlandse instituut brengt daarbij zijn kennis over beheersing van vervuiling op nanoschaal in, de Duitsers de spiegels zelf. De samenwerking moet de ontwikkeling van de volgende generatie EUV-optica versnellen. TNO en Zeiss werken overigens al meer dan tien jaar samen.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.