TNO bewijst dat ALD supersnel kan

Paul van Gerven
Leestijd: 4 minuten

Een uniforme film aluminiumoxide neerleggen met atoomlaagdepositie, zonder gaten erin, en met een nanometer per seconde? Gekkenwerk, dacht de industrie. Moet kunnen, dacht TNO. Onlangs voltooide het instituut een demo-opstelling die zijn gelijk bewijst. Het onderzoek moet resulteren in een nieuwe OEM.

Zo‘n twee jaar geleden liep TNO een aantal machinebouwers af met een idee. Simulaties bij het onderzoeksinstituut hadden aangetoond dat moleculaire reacties aan een oppervlak zo snel verlopen, dat je het atoomlaagdepositieproces ruimtelijk zou kunnen uitsmeren, in plaats van in de tijd. Bij spatiële ALD, zoals de methode is gaan heten, beweegt het substraat zich door zones met reactieve gassen, van elkaar gescheiden door zones van inerte gassen. Gewoonlijk ligt bij ALD het substraat bewegingsloos in een reactor die cyclusgewijs met gasvormige reactanten wordt gevuld, wat de snelheid van het proces niet ten goede komt. Op basis van de simulaties was TNO er echter van overtuigd geraakt dat ALD hoge depositiesnelheden zou kunnen halen en dus wel degelijk industrieel relevant zou kunnen zijn.

Op veel enthousiasme van de industrie konden de verkenningen niet rekenen. Onder meer het Duitse Aixtron, ASMI en Tokyo Electron gaven te kennen er niet verder mee te willen. ’Neem het ze eens kwalijk‘, zegt businessdeveloper Roger Görtzen van TNO. ’Het was een moeilijke periode voor alle machinebouwers, dus economisch was de animo al niet groot. Onder die omstandigheden zegt niemand op basis van een paar spreadsheets: dit gaan we doen. Daarnaast geloofden ze gewoon niet dat ALD snel genoeg zou kunnen zijn voor industriële applicaties.‘

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.

Gerelateerde artikelen