ST schaart zich achter Mapper

STMicroelectronics is toegetreden tot het Imagine-programma van CEA-Leti, waarin het Franse onderzoeksinstituut samen met Mapper de infrastructuur ontwikkelt voor maskerloze lithografie met elektronenbundels. De chipmaker werkt al tien jaar met Leti aan e-beam, maar die samenwerking reikte niet verder dan prototypering. Imagine heeft nadrukkelijk massaproductie voor ogen. ’Onze toetreding is een logische volgende stap om toegang te verkrijgen tot een mogelijke lithografie-oplossing voor toekomstige technologienodes‘, aldus Joël Hartman, leider van ST‘s afdeling voor de ontwikkeling van siliciumtechnologie.

ST voegt zich bij TSMC, dat al lid was van Imagine en bovendien als enige chipfabrikant zelf in bezit van een machine van Mapper. De Taiwanese foundry is dan ook een van Mappers belangrijkste troefkaarten. Vorige maand vroeg lithodirecteur Burn Lin van TSMC zelfs om meer financiële ondersteuning voor de roadmap van de Delftenaren, en kraakte hij de concurrerende EUV-technologie. Op het Industry Strategy Sympsosium vorige week in Dublin maakte Samsung juist sterk voor meer geld voor EUV, dat volgens R&D-leider Kinam Kim 100 procent zeker gaat werken wanneer de industrie er zijn schouders nog wat meer onder zet.