Optische precisie op de nanometer

Alexander Pil
Leestijd: 6 minuten

In zijn zoektocht naar extreem nauwkeurige meetmethodes stuitte Sentech op chromatische confocale sensoren. De Brabantse sensorintegrator werkt nu samen met de Franse bedenkers die midden in de volgende groeifase zitten. Een handvol Nederlandse bedrijven past de contactloze technologie al toe.

Als engineers nauwkeurige, contactloze afstandsmetingen willen doen, hebben ze een gereedschapskist vol met tools ter beschikking. Zelfs in het micrometerbereik kunnen ze uit behoorlijk wat mogelijkheden kiezen. Maar als het nog preciezer en nauwkeuriger moet en details van submicron tot een paar nanometer in kaart moeten worden gebracht, dunt het meetarsenaal snel uit. In het verleden viel de keuze dan meestal op lasertriangulatie, maar zoals alle methodes heeft die techniek haar beperkingen. Zo kom je qua resolutie pas echt in het submicrondomein als je duizenden datapunten combineert, zijn sommige samplepunten onbereikbaar vanwege schaduweffecten en heb je regelmatig last van het speckle-patroon in de laserbundel.

Ook Sentech liep tegen de tekortkomingen van lasertriangulatie aan. Voor een klant in de halfgeleiderindustrie – het mag de naam niet noemen – haalde de meettechniek bovendien niet de gewenste nauwkeurigheid. Peter Verstappen, accountmanager bij de sensorspecialist, ging op zoek naar een alternatief en stuitte op chromatische confocale imaging. ‘Om de beste fit voor onze klanten te kunnen leveren, doet Sentech graag zaken met de bron van de technologie’, vertelt Verstappen. In dit geval is dat het Franse Stil. Dat bedrijf uit Aix-en-Provence is opgericht door drie PhD’s die de technologie midden jaren negentig op het Parijse Institut d’Optique ontwikkelden.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.