NXT-platform ASML loopt uit

René Raaijmakers
Leestijd: 3 minuten

Officieel is het de normale gang van zaken, maar wie ASML‘s roadmap terugleest concludeert dat zijn NXT-platform vertraging oploopt. De situatie is precair. Door de slechte economische omstandigheden investeren chipfabrikanten niet in extra capaciteit. ASML is daarom vooral aangewezen op orders voor machines die nieuwe krimpslagen mogelijk maken.

ASML‘s immersieplatforms vullen de behoefte voor een groot deel in. De machinefabrikant kondigde intussen de Twinscan XT 1950HI aan, die lijntjes tot 38 nm kan printen met een doorvoer van 148 wafers per uur. Maar het zijn vooral geheugenfabrikanten die staan te springen om nog agressievere technologie. Fabrikanten van DRam-chips lijden op dit moment vrijwel allemaal verlies. Zij snakken naar machines waarmee ze kosten kunnen besparen en hun marges verhogen. Fabrikanten van Nand-flashgeheugens staan te springen om technologie waarmee ze meer gigabits op hetzelfde siliciumoppervlak kunnen zetten.

Op een bijeenkomst die ASML deze week hield voor een internationaal gezelschap journalisten wilde de machinefabrikant niet aangeven wanneer het NXT-platform op de markt komt. Deze machine moet krimpslagen van 40 tot 22 nanometer mogelijk maken met double patterning-technologie. NXT bevat een nieuw stageontwerp dat de doorvoer uiteindelijk moet verhogen tot 250 wafers per uur. De machine moet bovendien een onwaarschijnlijk scherpe overlay halen van 2 nanometer.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.