Norma bouwt mee aan metrologiesysteem ASML

Nieke Roos
Leestijd: 2 minuten

Het Hengelose Norma levert een belangrijk stuk van het hart voor het nieuwe Yieldstar-metrologiesysteem van ASML. Alle vier de wereldwijde vestigingen van het Twentse bedrijf zullen een deel van de order voor hun rekening nemen. Partners Demcon en Thales brengen hun expertise in op het gebied van systeemintegratie. Norma wil niet zeggen hoeveel geld ermee gemoeid is, maar de Tubantia meldt dat het gaat om een opdracht van vijftig miljoen euro.

Een woordvoerder van ASML noemt de aankondiging ’prematuur‘. Volgens hem is er nog helemaal geen overeenkomst. Desgevraagd bevestigt Norma dat de partijen formeel hun handtekening nog moeten zetten, maar dat de kogel al wel door de kerk is. Het besluit is eind oktober gevallen, aldus het bedrijf, na een intensief offertetraject van ruim vijf maanden.

Onder de naam Yieldstar werkt ASML al enkele jaren aan geavanceerde metrologie. De technologie is gebaseerd op optische scatterometrie en meet de kwaliteit van fotolakstructuren. Hiermee willen de Veldhovenaren hun waferscanners nog slimmer maken en de kwaliteit van het afbeeldingsproces voor chips verhogen. Metrologie laat toe om de lithomachines beter in te stellen, en zelfs om te corrigeren voor onregelmatigheden uit andere delen van de fab.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.