Nanoprecisie-positioneertafel met 1800 µm-slag

René Raaijmakers
28 februari 2008

Physik Instrumente brengt een nieuwe versie van zijn PIHera-piëzostage op de markt. De PIHera P-629 heeft een slag tot 1,8 millimeter. Daarmee zijn de nanopositioneerstages van het bedrijf uit Karlsruhe nu verkrijgbaar in versies voor x-, xy- en xyz-bewegingen met een slag van 1800 µm in de horizontale en tot 400 µm in de verticale richting. PI richt de positioneertafels op kwaliteitscontrole en metrologietoepassingen.

De meeste PIHera-tafels leveren resoluties in het subnanometerbereik. De PIHera P-629 heeft een resolutie beter dan 3 nm. De trajectprecisie komen volgens PI in het ’lage nanometerbereik‘. De responstijden liggen in het millisecondegebied.

De stages zijn uitgerust met contactloze capacitieve sensoren en leveren een motion-lineariteit tot 0,02 procent. Typische toepassingen zijn oppervlaktemetrologie, scanning-probe-microscopen, nanometrologie, biotechnologie, interferometrie en nanopositioning. Versies voor vacuüm zijn verkrijgbaar.