Mapper-machine print kleinere details dan immersielitho aankan

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

Mappers alfatool bij TSMC print betrouwbaar en reproduceerbaar 30 nanometer half-pitch contacts. Dat lijkt niet zo bijzonder nu Intel met immersielithografie gemaakte 32-nanometerchips reeds op de markt heeft gebracht, maar schijn bedriegt, zegt marketingdirecteur Bert Jan Kampherbeek. ’Op een 32-nanometerchip moet je goed zoeken naar een structuur die daadwerkelijk 32 nanometer is. Wij hebben features met een vorm en grootte geprint die buiten het bereik van immersielithografie liggen.‘

Het Delftse prototype in Taiwan staat in een gewone fab en draait uitsluitend TSMC-processen, met alle restricties van dien. ’Resultaten uit een R&D-omgeving zoals onze machine bij Leti zouden minder overtuigend zijn‘, aldus Kampherbeek.

Zijn klant TSMC is onder de indruk. ’De resultaten van ons project met Mapper voldoen aan agressieve doelstellingen. Op basis daarvan zijn we ervan overtuigd dat e-beam een van de technologieën is die een toekomstige lithografiestandaard gaat worden‘, zegt vicepresident R&D Shang-Yi Chiang van TSMC.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.