Magneetplatform-research Aspa van start zonder Apptech

RenƩ Raaijmakers
Leestijd: 2 minuten

Onder aanvoering van de TU Eindhoven en ASML ging afgelopen 1 april het project Advanced Single-Stage Planar Actuator (Aspa) van start binnen het Programme for High-Tech Systems (PFHTS). Opvallend is de afwezigheid van Philips Applied Technologies. Doel van Aspa is een zwevend platform met magnetische lagering dat trajecten (een lange slag van decimeters) kan volgen met een bewegingsnauwkeurigheid van enkele nanometers. Er is 4 miljoen euro beschikbaar voor het onderzoek.

Op de TU Eindhoven is een dergelijk zwevend platform intussen gerealiseerd door de promovendi Jeroen de Boeij, Helm Jansen en Nelis van Lierop op de faculteit Elektrotechniek. Zij combineerden magnetisch lageren en aandrijven met draadloze energieoverdracht. De TUE brengt dit onderzoek nu onder binnen Aspa, samen met ASML, Prodrive, Singulus, Tecnotion en VDL-ETG.

Zoals Aspaā€˜s projectplan het omschrijft, passen de doelstellingen vooral op ASMLā€˜s interesse. De planaire actuator met bewegende magneten (een tapijt van vaste magneten zweeft over een bed met elektromagneten) komt mogelijk over ruim vijf jaar in commerciĆ«le waferscanners. De focus ligt op toepassing in vacuĆ¼msystemen. Het principe is echter ook aantrekkelijk voor de huidige Twinscans. Dit planaire-actuatorprincipe maakt namelijk lichtere stages en dus hogere versnellingen en snelheden mogelijk.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naarĀ 024 350 3532Ā of stuur een e-mail naarĀ info@techwatch.nl.