Magneetplatform-research Aspa van start zonder Apptech
Onder aanvoering van de TU Eindhoven en ASML ging afgelopen 1 april het project Advanced Single-Stage Planar Actuator (Aspa) van start binnen het Programme for High-Tech Systems (PFHTS). Opvallend is de afwezigheid van Philips Applied Technologies. Doel van Aspa is een zwevend platform met magnetische lagering dat trajecten (een lange slag van decimeters) kan volgen met een bewegingsnauwkeurigheid van enkele nanometers. Er is 4 miljoen euro beschikbaar voor het onderzoek.
Op de TU Eindhoven is een dergelijk zwevend platform intussen gerealiseerd door de promovendi Jeroen de Boeij, Helm Jansen en Nelis van Lierop op de faculteit Elektrotechniek. Zij combineerden magnetisch lageren en aandrijven met draadloze energieoverdracht. De TUE brengt dit onderzoek nu onder binnen Aspa, samen met ASML, Prodrive, Singulus, Tecnotion en VDL-ETG.
Zoals Aspa‘s projectplan het omschrijft, passen de doelstellingen vooral op ASML‘s interesse. De planaire actuator met bewegende magneten (een tapijt van vaste magneten zweeft over een bed met elektromagneten) komt mogelijk over ruim vijf jaar in commerciële waferscanners. De focus ligt op toepassing in vacuümsystemen. Het principe is echter ook aantrekkelijk voor de huidige Twinscans. Dit planaire-actuatorprincipe maakt namelijk lichtere stages en dus hogere versnellingen en snelheden mogelijk.
Naast ASML en Singulus staan Assembléon en Fei genoemd als potentiële toepassers van de technologie, maar deze bedrijven zijn geen actieve deelnemers in het PFHTS-project. De partners Prodrive, Tecnotion en VDL-ETG nemen deel met als doel om in de toekomst kennis en onderdelen te leveren. Prodrive legt zich daarbij toe op geavanceerde schakelbare stroomversterkers. Het platform stelt extreem hoge eisen aan nauwkeurigheid en bereik (1:100 miljoen), waardoor ook de versterkers aan extreme, niet eerder gevraagde specificaties moeten voldoen. Tecnotion richt zich op het wikkelen van geavanceerde spoelen met hoge eisen aan elektrische en mechanische eigenschappen. VDL-ETG legt zich toe op het fabriceren van mechanische onderdelen met hoge nauwkeurigheid en vacuümcompatibiliteit.
Grote afwezige in het project is Philips Applied Technologies. Het voormalige Philips CFT demonstreerde een planaire actuator met bewegende magneten in oktober 2006 – overigens zonder mogelijkheden voor draadloze energieoverdracht. Bij Apptech noemen ze dit concept inverted maglev. Directeur Cees van Uijen zegt desgevraagd dat de Philips-dochter in PFHTS nooit een aanjager is geweest van het onderwerp stages met hoge precisie. ’Niet omdat we daar niet met anderen zouden willen samenwerken, maar omdat we daar al heel wat aan doen en investeringen en samenwerkingen liever doen in nieuwere innovaties, zoals zelflerende systemen voor toepassingen in de gezondheidszorg‘, aldus Van Uijen.