Lithografie evolueert naar zenuwcentrum chipfabriek

René Raaijmakers
Leestijd: 12 minuten

ASML kondigt een nieuw tijdperk aan in de chipproductie. Afbeelden op de nanometer evolueert naar een proces waarin alle onderdelen elkaar beïnvloeden. In waferfabs zijn belichtingsmachines steeds meer spin in het web. Jos Benschop, hoofd research bij ASML, over computationele lithografie, holistisch printen en uitdagingen in IC-fabricage.

Kijk eens hoe goed we zijn! Weer sneller, weer beter, weer kleiner! Je kon het afgelopen decennium geen persbericht over ASML‘s technologie lezen of de Brabanders klopten zich weer eens op de borst. Doorvoer verhoogd. Geen 40 nanometer, maar 36. Overlay verbeterd. Tientallen immersiesystemen verkocht. Installed base van duizend Twinscans. Opnieuw de doorvoer verhoogd! Eerste bestellingen nieuwe generatie EUV-machines. Kortom, knappe jongen die op De Run in Veldhoven nog een ingenieur vindt met een minderwaardigheidscomplex.

En dan is daar Martin van den Brink, ASML‘s hoofd marketing en technologie, die op SPIE Lithography in San José ineens met een heel ander verhaal komt. Het orakel uit Veldhoven kwam er deze keer niet om op te scheppen. Hij had een boodschap. Hij hield lithospecialisten voor dat alles met alles samenhangt. Dat er zoiets bestond als holistische lithografie. Dat het zichtbaar was in zijn kristallen bol, dat de wereld er beter van zou worden en dat ASML het allemaal mogelijk zou gaan maken.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.