Levitech krijgt vervolgorder voor RTP-systeem

Een grote Europese chipmaker installeert binnenkort een Levitor Rapid Thermal Processing-systeem van Levitech. Begin volgend jaar mag het Almeerse bedrijf nog een RTP-machine leveren. Eerder verkocht Levitech al een Levitor aan dezelfde klant.

‘De Levitor is opnieuw geselecteerd door een leidende halfgeleiderfabrikant voor de productie van chips voor automotive en industriële sectoren’, aldus Levitech-CEO Jaap Beijersbergen die de naam van de klant niet wil vrijgegeven. ‘Deze klant koos ons Levitor RTP-systeem op basis van zijn significante productiviteit-, cost-of-ownership- en procesvoordelen in vergelijking met concurrerende oplossingen voor RTP-toepassingen.’

In de Levitor krijgen wafers, al zwevend tussen luchtkussentjes, een supersnelle maar superprecieze hittebehandeling tussen twee massieve hitteblokken. De technologie werd ontwikkeld door Levitechs moederbedrijf ASMI, dat nooit echt voet aan de grond kreeg in de markt voor RTP-systemen. In 2008 trok CEO Chuck del Prado onder druk van aandeelhouders de stekker eruit. De ASMI-businessunit kwam op eigen benen te staan als Levitech. De spin-off ontwikkelt ook een atoomlaagdepositiesysteem voor de fabricage van zonnecellen op basis van hetzelfde zwevende-wafersysteem.