Levering drie euv-scanners uitgesteld
ASML levert dit jaar drie NXE:3350B-euv-scanners, in plaats van de eerder aangekondigde zes. Dat heeft het bedrijf bekendgemaakt bij de presentatie van de derdekwartaalcijfers. Als reden voor het uitstel geeft ASML op dat euv-klanten het tempo waarmee ze van knooppunt naar knooppunt springen verlagen, en daardoor langer toe kunnen met het aantal machines dat ze nu al hebben staan. Tevens geven ze op dit moment prioriteit aan het opstarten van het 10-nanomerknooppunt.
ASML is nu bezig de eerste 3350B te verschepen. Deze heeft een verbeterd optisch systeem, waardoor de lichtbron efficiënter kan worden benut. Ook de overlay is fors verbeterd naar 1,0 nanometer. Zonder dit nieuwe systeem is euv echter ook stapjes blijven maken. Een klant heeft een ouder euv-systeem vier weken laten draaien en daarin 15 duizend wafers belicht, of gemiddeld een ruime vijfhonderd per dag. In tegenstelling tot de test eerder dit jaar, waarbij duizend plakken in 24 uur dag door de machine gingen, werd bij deze proef de imaging-kwaliteit wel meegenomen – en in orde bevonden.
Afgelopen kwartaal heeft de Veldhovense machinebouwer tevens de eerste immersiesystemen van een nieuwe generatie verscheept, de NXT:1980. Met een verbeterde overlay (1,2 nanometer) en productiviteit (10 procent meer, naar 275 wafers per uur) is deze machine bedoeld voor stevig multipatterning-werk.
Op het financiële front blijft het ASML voor de wind gaan. In lijn met de verwachtingen noteerde het een omzet van 1,55 miljard euro in het derde kwartaal, met een winst van 322 miljoen euro. Het bedrijf verwacht volgend kwartaal een iets lagere omzet, maar dat zal een nieuwe recordjaaromzet van 6,2 tot 6,3 miljard euro niet in de weg staan.
Over volgend jaar drukt ASML zich alleen in kwalitatieve termen uit. Foundry’s zijn op dit moment voorzichtig, maar vermoedelijk begint de 10-nanometer-ramp-up in het tweede kwartaal. De geheugensector doet een pas op de plaats in 2016, verwacht ASML. De omzetdoelstelling van tien miljard euro in 2020 komt al met al niet in het gedrang, verzekert cfo Wolfgang Nickl.
