KLA-Tencor stopt euv-activiteiten

De Amerikaanse machinebouwer KLA-Tencor zet een streep door tien procent van zijn arbeidsplaatsen. Ongeveer zeshonderd banen staan op de tocht. KLA-Tencor neemt het besluit omdat het bedrijf vanuit de markt weinig belangstelling ontvangt voor zijn euv-inspectiesystemen. Volgens topman Rick Wallace kan dat twee dingen betekenen. ‘De chipfabrikanten hebben ons metrologiesysteem niet nodig of ze hebben nog geen zicht op massaproductie met euv.’ Wallace vindt de vooruitzichten te onduidelijk om nog langer te investeren.

FD meldt dat er nog een andere kant van het verhaal is. Op het SPIE Advanced Lithography Symposium heeft ASML namelijk een oplossing gepresenteerd die de hele KLA-Tencor-machine overbodig zou maken. Technisch directeur Martin van den Brink vertelde medio vorig jaar op de Imec Technology Conference al over de vinding. Door een euv-masker te beschermen met een verwijderbaar vliesje, kunnen chipfabrikanten het af met bestaande metrologiesystemen en hebben ze geen speciale euv-inspectiemachine meer nodig.