Intel laat Nikon niet vallen

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

Op de Semicon Japan-conferentie vorige week heeft Nikon bekendgemaakt met Intel samen te werken aan ArF-immersiescanners voor 450 millimeter wafers. De partners mikken op 2015 à 2016 voor de introductie van prototypetools en op 2017 voor volwaardige productiemachines.

Het is voor het eerst dat de relatie tussen Nikon en Intel in het openbaar ter sprake komt sinds bekend werd dat de chipgigant ten behoeve van EUV- en 450-millimeterontwikkeling investeert in ASML en zelfs aandeelhouder wordt. Kort daarop doken geruchten op dat Intel ook met Nikon een samenwerkingsverband zou hebben, maar die zijn tot nu nooit officieel bevestigd. Details over het partnerschap zijn ook nu niet bekendgemaakt.

Kazuo Ushida, president van Nikons lithotak, zei op Semicon Japan verder dat hij het niet waarschijnlijk acht dat er in 2018 al EUV-scanners voor 450 millimeter wafers beschikbaar komen. Er is volgens hem onvoldoende tijd om de benodigde verbeteringen aan lichtbron, maskerinfrastructuur en fotolak te realiseren.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.