Hoe ASML zonder volharding nooit was ontstaan

In de jaren tachtig van de vorige eeuw had Philips weinig trek in een samenwerking met het veel kleinere ASM International. Alleen door zijn nauwe banden met de Nederlandse overheid slaagde ASMI-boegbeeld Arthur del Prado erin om Philips over te halen tot de krachtenbundeling die we nu kennen als ASML.

Jorijn van Duijn heeft zich zes jaar lang verdiept in de geschiedenis van ASM International, waarbij hij zich baseerde op interviews en het persoonlijke archief van Arthur del Prado. Als promovendus is hij verbonden aan het Rijksmuseum Boerhaave en de Universiteit Maastricht. Dit artikel is een uittreksel uit zijn proefschrift ‘Fortunes of high-tech: a history of innovation at ASM International, 1958-2008’, dat sinds deze maand via Techwatch Books te verkrijgen is.

In het kielzog van de hevige Amerikaanse en Japanse concurrentie nam de Europese Unie rond 1980 het initiatief tot haar eerste samenhangende steun voor de Europese micro-elektronica-industrie: het European Microelectronics Program. Ook in Nederland groeide het bewustzijn over het belang van de bedrijfstak voor toekomstige economische groei. Toch leek het erop dat Nederland de boot dreigde te missen.

Dit was niet alleen een bron van zorg voor de Nederlandse elektronicamagnaat Philips, maar ook voor de veel minder bekende fabrikant van halfgeleiderapparatuur ASM International. Hoewel Philips het bestaan van het bedrijf uit Bilthoven in eerste instantie nauwelijks erkende, kwamen de bedrijven na een slimme manipulatie van het Nederlandse economische beleid uiteindelijk toch samen te werken. Het resultaat van die samenwerking: ASML.

Niet het goede voorbeeld

In een interview uit januari 1981 klaagde Eduard Pannenborg, de toenmalige directeur van het prestigieuze Philips Natlab, over het gebrek aan ondernemerschap en initiatief op het gebied van micro-elektronica in Nederland. Philips stond volgens hem alleen.

Dat trok de aandacht van ASMI-oprichter en ceo Arthur Del Prado. De toen 49-jarige zakenman had tot op dat moment tevergeefs geprobeerd steun te krijgen voor zijn groeiende bedrijf. Noch de Nederlandse regering noch Philips was bereid geweest om zich achter zijn ideeën te scharen. Twee weken na het interview van Pannenborg in de krant stuurde Del Prado een brief naar de Philips-bestuurder. Daarin gaf hij duidelijk aan wat de positie van de ondernemer was ten opzichte van het veranderende economische beleid van de Nederlandse en Europese autoriteiten:

‘Vele van uw opmerkingen onderschrijf ik volledig. In ’t bijzonder uw observeringen aangaande de afwezigheid van een Europese industriepolitiek … en tenslotte uw opmerkingen over het Nederlandse industriële klimaat gemeten tegen het gebrek aan ondernemingsgeest in dit land.’

Del Prado juichte Pannenborgs uitspraken over de Nederlandse ondernemersgeest toe, ook al wees hij de Philips-directeur er fijntjes op dat hij niet deed wat hij predikte. Als nationaal kampioen elektronica moest Philips zelf het goede voorbeeld geven:

‘Ofschoon wij vele samenwerkingsvoorstellen gedaan hebben aan Philips, bleek altijd weer dat wij voor de lancering van vrijwel al onze hedendaagse en nieuwe produkten bij de Amerikaanse industrie terecht kwamen en daar wel intensief ondersteund werden. Als u stelt dat de ondernemingsgeest ontbreekt bij jonge mensen in Nederland dan stel ik daartegenover dat mijns inziens bij Philips helaas de voortrekkersgeest ontbreekt, die medebepalend zou kunnen zijn voor de ontwikkeling van een miniatuur ‘Silicon Valley’ in Nederland.’

Hoewel de brief beleefd werd ontvangen op het kantoor van Pannenborg, kwam er geen reactie uit Eindhoven. Het leek erop dat het grote Philips nog altijd geen rekening wilde houden met die kleine onderneming in halfgeleidermachines vanwege haar omvang en haar reputatie als onstuimige leverancier van apparatuur. Maar Del Prado had iets achter de hand dat het tij zou laten keren en hem en zijn bedrijf in de schijnwerpers zou zetten.

Steek onder water

Op 19 mei 1981 ging ASM International naar de beurs. Naar de Nasdaq welteverstaan, de Amerikaanse beurs voor technologiebedrijven. Een noviteit, want ASMI was het eerste Nederlandse bedrijf dat daar genoteerd stond. Met deze krachttoer presenteerde de Bilthovense onderneming zich in één klap op het wereldtoneel, een prestatie die noch Philips noch de Nederlandse autoriteiten konden negeren.

Del Prado maakte van die aandacht en bewondering gebruik om zijn visie op het Nederlandse klimaat voor micro-elektronica te geven. In oktober 1981 liet hij in een paginagroot artikel in NRC Handelsblad zijn prestaties zien en uitte hij zijn frustraties over het Nederlandse ondernemingsklimaat. Onder de krantenkop ‘Silicon Valley aan de Jan Steenlaan’ herhaalde Del Prado het argument van zijn brief aan Pannenborg eerder dat jaar. Hoewel niet expliciet, deed hij een steek onder water richting Philips. Ook de Nederlandse kapitaalmarkt moest het ontgelden. Toch benadrukte Del Prado aan het eind van het artikel zijn trots om Nederlander te zijn en sprak hij de hoop uit dat het industriële klimaat in Nederland zou verbeteren.

Animositeit

Del Prado’s rijzende ster en zijn roep om samenwerking bleven niet onopgemerkt bij het ministerie van Economische Zaken en het ministerie van Onderwijs en Wetenschappen. In Den Haag waren ze benieuwd naar zijn mening over deze kwestie en betrokken hem bij een aantal van hun beraadslagingen. Daarbij presenteerde Del Prado zich als de enige echte gesprekspartner op het gebied van halfgeleiderproductieapparatuur.

In september 1982 werd hij persoonlijk uitgenodigd om bestuurslid te worden van de Stichting Centra voor Micro-elektronica (SCME) voor een periode van drie jaar. De SCME was in 1980 opgericht op advies van regeringscommissies en -rapporten. De taak van de stichting was om het Nederlandse publiek te informeren over micro-elektronica buiten de dominantie van Philips om. Door deze nieuwe gesprekken met overheidsfunctionarissen werd ASMI een actieve speler in de transformatie van het Nederlandse economiebeleid.

Del Prado moest ook een relatie met Philips opbouwen. Dit ging met horten en stoten. Na de media-aandacht rondom de beursgang kwam de ondernemer in contact met verschillende ingenieurs van het Natlab. Dit resulteerde in enkele bezoekjes, maar een echte samenwerking kwam niet van de grond. Philips en ASMI werkten voor het eerste European Microelectronics Program niet samen. Tot ongenoegen van Del Prado en de ambtenaren dienden beide bedrijven onafhankelijk van elkaar voorstellen in. De voortdurende animositeit tussen ASMI en Philips was contraproductief voor de belangen van zowel de overheid als de bedrijven zelf.

Del Prado benutte zijn nieuwe relatie met het Nederlandse ministerie van Economische Zaken in zijn flirt met de Eindhovense elektronicareus. Omdat Philips veel financiële overheidssteun kreeg en het bedrijf had gepleit voor meer Europese samenwerking, had het ministerie de middelen om Philips aan te sporen om naar ASMI te luisteren. En Del Prado bleef volhardend en weerlegde elk argument van Philips-managers tegen de samenwerking. In Eindhoven werd het steeds moeilijker om de toenadering van de kleine onderneming uit Bilthoven te negeren.

Doorbraak

Op 7 oktober 1982, tijdens een bijeenkomst op het ministerie van Economische Zaken in Den Haag, zag Del Prado eindelijk een kans. In deze bijeenkomst met de interim-directeur-generaal van EZ, Jan Hillige, en Ab de Boer, de directeur van de Philips-afdeling Science and Industry (S&I), werden de plannen van Philips besproken om een in eigen beheer ontwikkelde steppermachine voor lithografie te commercialiseren. Philips S&I was op zoek naar een vindingrijke productiepartner om het systeem op de markt te introduceren. Del Prado stak zeer bereidwillig zijn hand op.

Lithografie was immers een lucratieve markt. Toch constateerde Del Prado enkele maanden eerder, in februari 1982, in een brief aan een medewerker:

‘Zoals je weet ben ik zeer sceptisch om, zo laat, nog serieuze pogingen te doen de concurrentie in de lithografie met de grote jongens in dit gebied (Perkin Elmer, GCA, Hitachi, Canon, etc.) aan te vangen. Tenzij dit gezamenlijk met een van de grote bedrijven zoals Philips of andere zou gebeuren, of dat we een grote stap voorwaarts zouden kunnen maken in een nieuwe richting – X-ray of iets anders.’

Omdat Philips op zoek leek te zijn naar een partner in lithografie, was een van die voorwaarden vervuld.

Naast een inkoopcontract van Philips Elcoma voor de horizontale ovens van ASMI vormde de waferstepper de eerste echte kans om Philips en ASMI te laten samenwerken. Na de bijeenkomst schreef Del Prado een brief aan De Boer:

‘Na ampele overweging meen ik toch nogmaals het standpunt van ASM te moeten vastleggen in de hoop dat, mocht Philips toch besluiten haar wafersteppers te introduceren, ASM alsnog als partner voor dit project overwogen wordt. … Aannemende dat de waferstepper een redelijk uitgeëngineerd product is, is ASM bereid de ‘final assembly’ en marketing van steppers in Amerika te ondernemen.’

Om eventuele bezwaren weg te nemen, zette Del Prado gedetailleerd uiteen hoe hij de samenwerking zag, van productie en marketing tot ontwikkeling. Met betrekking tot de financiering van de inspanning stelde hij voor:

‘Het eventueel moeten aantrekken van risicodragend kapitaal daarvoor lijkt ons eveneens geen onoverkomelijk probleem. Misschien zelfs dat het ministerie van Economische Zaken hierbij nog een rol zou kunnen spelen vooral als de uitstralingseffecten op Nederland zichtbaar aangetoond kunnen worden.’

Del Prado sloot zijn betoog af door te stellen dat ASMI zich niet zou inlaten met speculatieve projecten die tot onnodige risico’s zouden kunnen leiden, maar hij wees ook op de verantwoordelijkheid van Philips voor de Nederlandse micro-elektronica-industrie:

‘Er wordt veel over de voortrekkersrol van Philips voor de Nederlandse micro-elektronica gesproken en Europese samenwerking staat hoog in het Philips-vaandel; het zou dan ook jammer zijn als voor dit project aan een Amerikaanse partner de voorkeur gegeven zou worden, zonder een jong maar succesvol Nederlands bedrijf met een sterke eigen vestiging in Amerika, een reële kans daartoe te bieden.’

Een nieuw bedrijf

Hoewel het nog enkele maanden zou duren om Philips over de streep te trekken, was het begin gemaakt. Del Prado wist welke akkoorden hij moest spelen om de aandacht en steun van de Nederlandse overheid te krijgen. Hij benadrukte dat de ontwikkeling van Nederlandse capaciteiten en kennis op het gebied van micro-elektronica van strategisch belang was en dat een samenwerking tussen ASMI en Philips een veelbelovende aanpak zou zijn.

Hillige was gevoelig voor Del Prado’s charmeoffensief en toonde zich in een opeenvolgende brief tevreden met de voorgenomen aankoop door Philips Elcoma van ASMI-apparatuur en de beoogde samenwerking op het gebied van lithografie:

‘Als aandachtig toehoorder bij het gesprek ontkom ik echter niet aan de indruk dat een diepgaandere analyse van de mogelijkheden tot samenwerking tussen ASM en S&I zinvol zou kunnen zijn. … Tenslotte hoop ik dat mede dankzij ASM en Philips de Nederlandse industrie van ic-productie-apparatuur en materialen een sterke internationale positie zal kunnen verwerven en behouden.’

René Raaijmakers schreef in zijn ‘De architecten van ASML‘ dat het nog een half jaar zou duren voordat Philips terugkwam op het voorstel van Del Prado. Pas in september 1983 – na een tweede aandelenuitgifte van ASMI en Del Prado’s nominatie voor de Nederlandse Manager van het Jaar – kwamen beide partijen overeen een joint venture op te richten om de wafersteppertechnologie van Philips op de markt te brengen. De samenwerking kreeg de naam ASM Lithography.

Eindelijk hadden de twee Nederlandse spelers op de wereldwijde markt voor micro-elektronica hun krachten gebundeld om de Nederlandse industrie vooruit te helpen. Het ministerie van Economische Zaken was tevreden. Door de volharding van Del Prado en de bemiddeling van het ministerie was ASMI erin geslaagd Philips te overtuigen en een nieuwe Nederlandse onderneming voor halfgeleiderapparatuur op te richten in de prestigieuze markt voor optische lithografie. In de jaren daarna zette de overheid haar steun voor ASM Lithography voort en breidde die uit. De joint venture bewees dat samenwerking binnen de Nederlandse economie kan leiden tot veelbelovende en zeer innovatieve initiatieven.