Fraunhofer steekt ASMI handje toe

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

Het Fraunhofer CNT-instituut gaat ASMI helpen bij de ontwikkeling van ALD- en CVD-processen in de verticale A412-ovens van de Almeerse machinebouwer. De overeenkomst die daartoe is gesloten voorziet in de installatie van een dergelijk depositieapparaat in de cleanroom van het Fraunhofer. Deze constructie hanteert ASMI ook met Holst Centre om nieuwe ALD-toepassingen te verkennen. In een eerste project beogen ASMI en Fraunhofer, die overigens al langer samenwerken, nieuwe processen en materialen voor CMos-logic-technologie te ontwikkelen en te integreren.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.