Fom en ASML onderzoeken gedrag tindruppels in EUV-bron

14 maart 2014

Fom-onderzoekers van de Universiteit Twente gaan bij ASML onderzoek doen aan tindruppeltjes, die worden gebruikt om EUV-licht te produceren. De nieuwe groep, gelieerd aan de Physics of Fluids-vakgroep van hoogleraar Detlef Lohse, bestaat uit een groepsleider en drie promovendi. Het onderzoeksprogramma duurt vijf jaar en heeft een totaalbudget van 1,5 miljoen euro. Fom en ASML brengen hiervan beide vijftig procent in.

Deze gekleurde waterdruppel wordt van links geraakt door een laserpuls. Iets vergelijkbaars gebeurt met tindruppels in een EUV-bron.

ASML produceert EUV-licht door met een uiterst krachtige laser op tindruppeltjes te schieten. Hierdoor worden elektronen aangeslagen, en wanneer die terugvallen wordt EUV-licht uitgezonden. Tegelijk spat de druppel echter uit elkaar en tasten neerslaande fragmenten de uiterst gevoelige EUV-optiek aan. Een film van enkele atoomlagen dik is al voldoende om de spiegel buiten werking te stellen.

Met hun kennis van vloeistofdynamica hopen de Fom-onderzoekers bij ASML grip te krijgen op dit proces. Ook de omstandigheden waaronder EUV-licht het meest efficiënt geproduceerd wordt, is onderwerp van studie. Dan gaat het bijvoorbeeld over de vorm van de druppels en de karakteristieken van de laser.

Vorig jaar richtte ASML samen met Fom en anderen een geheel nieuw onderzoeksinstituut op in Amsterdam.