Fei in zee met CEA-Leti

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

Het Franse onderzoeksinstituut CEA-Leti en Fei gaan gezamenlijk werken aan de karakterisering van 22-nanometertechnologie en verder. De twee organisaties hebben daartoe een driejarige overeenkomst getekend. Centraal in de samenwerking staat Feis topmodel, de Titan scanning transmission electron-microscoop (Stem), terwijl CEA-Leti en zusterorganisaties hun expertise op het gebied van nanobundeldiffractie en holografie inbrengen.

’Het onderzoek richt zich op een tweetal gebieden: het gebruik van holografie met de Titans speciale elektronenbron om de gevoeligheid van doteringsprofielen te verbeteren, en het gebruik van diffractietechnieken om veranderingen in materiaalstress en andere kristallografische parameters te meten‘, zegt vicepresident George Scholes van Fei. CEO Laurent Malier van CEA-Leti voegt toe: ’Samen verwachten we verscheidene technische hindernissen te kunnen wegnemen waar de halfgeleiderindustrie voor staat.‘

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.