Eerste Chinese klant voor Levitechs RTP-systemen
Voor de eerste keer heeft een Chinese halfgeleiderfabrikant drie Levitor Rapid Thermal Processing (RTP)-systemen van Levitech besteld. De klant gaat de apparatuur uit Almere onder meer gebruiken voor uitbreiding van zijn opto-elektronische productie op siliciumwafers. ‘De Levitor is doorgedrongen tot de groeiende Chinese markt voor halfgeleiders en draagt bij aan zijn succesverhaal’, zegt Levitech-ceo Jaap Beijersbergen.
De Levitor is oorspronkelijk ontwikkeld door ASM International, die in 2009 zijn RTP-activiteiten afstootte als Levitech. Uniek aan de technologie is dat de wafers drijven op een kussen van gas, waardoor een zeer snelle en precieze thermische behandeling mogelijk is. Voor RTP is het grootste deel van Levitechs klantenbestand gevestigd in Europa. Het Levitor-geïnspireerde spatial-ald-systeem voor de pv-industrie, de Levitrack, wordt voornamelijk in Azië verkocht.
