Contactloos laagdiktes meten in multilagen

René Raaijmakers
Leestijd: 5 minuten

Ooit ontwikkelde Eastman Kodak een zeer nauwkeurig meetsysteem om diktes van mono- en multilagen contactloos te meten. Lumetrics uit het Amerikaanse Rochester maakte daarvan enkele jaren geleden een meetinstrument voor dunne lagen. Het Eindhovense IBS Precision Engineering brengt dit meetsysteem met de naam Optigauge in Europa op de markt. Hoe zat het ook alweer met interferometrie en hoe maakt de Optigauge hiervan gebruik?

Voor micrometingen is meestal heel wat hardware nodig en dat is met het Optigauge-meetsysteem van Lumetrics niet anders. Het instrument bestaat uit een meetkop en een forse behuizing met het meetinstrumentarium en een pc. De meetkast stuurt infrarood licht van een lichtgevende diode via een optische glasvezel naar de meetkop. Het gereflecteerde licht komt weer de meetkop in, waarna de meetkast het signaal opvangt en de computer de signaalverwerking, analyse en grafische weergave verzorgt. De metingen zijn contactloos en non-destructief.

Het meetbereik van de Optigauge ligt tussen laagdiktes van 12 micrometer (µm) en 12 millimeter bij een nauwkeurigheid van 0,1 µm een resolutie van 30 nm. ’Voor het einde van het jaar verwachten we een systeem dat tot laagdiktes van 6 micron gaat‘, zegt Hans Ott, salesmanager van IBS Precision Engineering. De te meten multilagen moeten transparant zijn voor het gebruikte infrarode licht. Daarnaast moet de brekingsindex van de verschillende lagen bekend zijn om voor de vertraging van de lichtsnelheid in de verschillende materialen te kunnen corrigeren.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.