Aspa gaat overactuatie gebruiken in vliegend tapijt

ASML en de TU Eindhoven gaan het principe van overactuatie gebruiken in het ontwerp van planaire motoren. De TUE ontwikkelde de kennis van overactuatie in een IOP-project binnen het programma Precisietechnologie. Nu verkent het project Advanced Single-Stage Planar Actuator (Aspa) verdere mogelijkheden van de techniek.

Overactuatie is het gebruik van meer actuatoren dan nodig zijn voor een statisch bepaalde constructie. Er kan dan gebruik worden gemaakt van minder stijve materialen. Het principe is te vergelijken met het ophangen van een poster: stijf ingelijst blijft deze op één spijker netjes hangen, anders heb je vier plakbandjes nodig. In het IOP-project Overactuated Systems, dat liep van 2001 tot 2005, bekeek de Eindhovense onderzoeksgroep van Maarten Steinbuch hoe dit principe is te gebruiken voor het dempen van trillingen.

De deelnemers aan het vierjarige Aspa-project bouwen een geavanceerd draadloos zwevend magneetplatform voor toekomstige lithografische systemen (zie pagina 32). Dit platform zal binnen het bereik van twaalf tot achttien spoelen hangen. Voor aansturing in de zes vrijheidsgraden zijn er daar maar zes van nodig. De overige twaalf zijn beschikbaar voor overactuatie. Het gebruik van deze techniek maakt het mogelijk het platform van een flexibel materiaal te maken en zo geen ’vliegende stoeptegel‘, maar een ’vliegend tapijt‘ te realiseren.

Overactuatie is ook een thema binnen Phase2. Deze gezamenlijke innovatie-inspanning van Point-One en het Programme for High-Tech Systems richt zich op embedded systemen, mechatronica en nano-elektronica. De ambitie is om een hightech-kenniscluster te creëren dat zich kan meten met vergelijkbare samenwerkingen in de Verenigde Staten en het Verre Oosten.