ASML’s 5×5 e-beam metrologiesysteem maakt debuut

Een klant van ASML heeft het eerste HMI Escan 1100 multibeam e-beam waferinspectiesysteem geïnstalleerd. Uitgerust met 25 stralen in een 5-bij-5-configuratie, kan de Escan 1100 de doorvoer vijftien keer verhogen in vergelijking met systemen met één straal, waardoor defectcontrole in massaproductieomgevingen mogelijk is, claimt ASML-dochter HMI.

ASML nam in 2016 metrologiespecialist HMI over om te profiteren van een wederzijdse synergie tussen de twee bedrijven. Enerzijds breidt e-beam-inspectie de mogelijkheden van ASML’s holistische lithografiesuite uit, omdat het gemakkelijker is om elektronen met een lage golflengte te produceren dan fotonen. En aan de andere kant versnelt informatie uit de suite de inspectie door e-stralen naar verdachte hotspots te sturen, waardoor het wafergebied dat moet worden gescand, wordt verkleind.

De samenwerking kwam echter een beetje traag op gang, nadat de partners opnieuw moesten beginnen vanwege een ip-probleem. Met anderhalf jaar vertraging werd de eerste tool, de 3×3 beam Escan 1000, verzonden in mei 2020. Deze ‘technologiedemonstrator leverde veel applicatiekennis en ontwerpverbeteringen op’, zegt Gary Zhang, hoofd productmarketing bij HMI.

‘De Escan 1100 integreert die kennis met een verbeterd optisch elektronensysteem met een hogere resolutie en een hogesnelheidsstage om de algehele doorvoer van het systeem te verhogen. Bovendien verwerkt een high-speed computationele architectuur de gegevensstromen van de meerdere beamlets in realtime’, voegt Zhang eraan toe.