ASML verscheept honderdste euv-scanner

ASML heeft de bouw van zijn honderdste euv-scanner voltooid en heeft deze na een kleine afscheidsceremonie naar een klant gestuurd. Dat liet de machinebouwer weten op Linkedin. Na de evaluatie van verschillende opties voor de eeuwwisseling besloot het bedrijf in 2001 om zich definitief op euv te storten als de opvolger van ArF-lithografie. Vijf jaar later werden de eerste alfa-demotools verscheept, maar het duurde nog een decennium voordat chipfabrikanten genoeg vertrouwen hadden in de Veldhovense systemen om ze te gebruiken voor productie. In 2019 bereikte de productie van euv-chips de status van hoog volume en in datzelfde jaar werden elektronische apparaten met ‘euv-chips’ gelanceerd.

De verzending van de honderdste scanner markeert opnieuw een mijlpaal in de geschiedenis van de technologie, hoewel deze nog niet volledig volwassen is. En natuurlijk werkt ASML al aan een nieuwe en verbeterde versie van euv. De eerste hoge-NA-scanners staan gepland voor verzending in 2022.