ASML levert vijfde EUV-machine op

Paul van Gerven
Leestijd: 1 minuut

ASML begint deze week de vijfde EUV-preproductiemachine te verhuizen naar een klant. Dat heeft technologietopman Martin van den Brink van ASML gisteren gezegd in een gesprek met Bits&Chips. De machinebouwer is vorig jaar begonnen de NXE:3100 te leveren aan halfgeleiderfabrikanten, die ze gebruiken om chipfabricage met de nieuwe lithografische techniek in de vingers te krijgen. Samsung was naar verluidt de eerste die er eentje kreeg. In totaal verscheept ASML er zes, na eerder twee alfademotools bij onderzoekscentra Imec en het CNSE in Albany te hebben neergezet. Voor daadwerkelijke productie staat in 2013 de introductie van de NXE:3300 op de planning.

Het gesprek met Martin van den Brink wordt afgedrukt in Bits&Chips‘ ASML-special, die verschijnt op 23 september. Van den Brink legt hierin onder meer de huidige overgang van DUV naar EUV naast andere fundamentele stappen in de chiplitho die hij heeft meegemaakt. Hij gaat ook uitgebreid in op de problematiek rondom de EUV-bron.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.