ASML levert vertraagde multi-beam inspectietool
Na anderhalf jaar vertraging heeft ASML vorige week zijn eerste multi-e-beam inspectietool naar een klant verzonden voor kwalificatie. De Escan1000 is bedoeld voor ‘realtime’ inspectie van ic-fabricage op het 5 nm-knooppunt en verder en moet de doorvoer tot 600 procent verhogen in vergelijking met systemen met één elektronenbundel.
‘Aangezien kritieke dimensies met elke nieuwe technologie blijven krimpen, worden ‘killer’-defecten steeds kleiner en bereiken ze het punt waarop velen niet langer detecteerbaar zijn met optische inspectie’, zegt Gary Zhang, vicepresident van HMI Product Marketing bij ASML. ‘Ons nieuwe inspectiesysteem met meerdere bundels is in staat deze kleinere defecten te detecteren, terwijl het de eerdere doorvoerbeperkingen van de e-bundel aanpakt om het geschikter te maken voor productieomgevingen met grote volumes.’
ASML waagde zich aan e-beam inspectie toen Hermes Microvision (HMI) werd overgenomen in 2016. De grondgedachte van de deal was dat de bedrijven samen de inspectie met e-beams konden versnellen door gebruik te maken van de informatie uit ASML’s bestaande assortiment van computationele en metrologische yield-verbeterende technieken om de e-beam te sturen naar ‘hotspots’ op de wafel. Dit verkleint het zoekgebied dramatisch.
Voor productieomgevingen met grote volumes zijn systemen met één e-beam echter nog steeds te traag. Daarom wilden ASML en HMI multi-beam-tools ontwikkelen: de Escan1000 heeft negen beams en toekomstige generaties zullen er meer hebben.
De ontwikkeling van het eerste multi-beamsysteem liep vertraging op vanwege een ip-probleem. ‘In eerste instantie werkten we met Zeiss aan multi-beam, maar ze deelden relevante ip met een ander bedrijf, wat het onpraktisch maakte om dat ook met ons te delen. We hadden een apart bedrijf moeten starten om dat te laten werken. In plaats daarvan hebben we besloten om het zelf te doen, hoewel dat betekende dat we helemaal opnieuw moesten beginnen’, verklaarde ASML-cfo Roger Dassen de vertraging begin dit jaar.
