ASML leidt Europese 3-nm-pilot

Onder aanvoering van ASML starten Europese bedrijven en researchinstituten een pilotonderzoek naar de integratie van 3-nm-halfgeleidertechnologie. Totale kosten van dit Pin3s-project bedragen 141,6 miljoen euro, waarvan maximaal 30,0 miljoen subsidie van de EU. De andere Nederlandse deelnemers zijn Prodrive, Reden, Sioux CCM, Solmates, Thermo Fisher Scientific (Fei), de TU Delft, de UT en VDL ETG. Vanuit België doen Imec en de daar gevestigde club van Applied Materials mee.

Pin3s is verreweg het grootste van de elf onderzoeksprojecten die in het kader van het Europese samenwerkingsprogramma voor leiderschap in elektronische componenten en systemen (Ecsel) het groene licht hebben gekregen. Negen hebben er inbreng uit Nederland of België. De Nederlandse projectkosten voor de lichting van 2018 bedragen in totaal 119 miljoen euro; de publieke bijdrage bestaat uit 23 miljoen vanuit het Topsectorenbeleid en 23 miljoen Europese cofinanciering. Voor België is nog geen uitsplitsing beschikbaar.

Het nieuwe Ecsel-project Applause gaat onderzoek doen naar geavanceerde verpakkingen voor elektronica, fotonica en optica die goedkoop in Europa zijn te produceren. Penvoerder is het Zwitserse Swissbit, de totale kosten bedragen 37,3 miljoen euro, waarvan maximaal 9,0 miljoen aan EU-funding. Vanuit Nederland partneren Advanced Packaging Center, Besi en Imec NL. De Belgische deelnemers zijn Imec, JSR Micro en KLA-Tencor (het voormalige Icos Vision Systems).