ASMI krijgt concurrentie uit Frankrijk

Leestijd: 1 minuut

Altatech Semiconductor heeft vandaag op de Semicon Europa-vakbeurs een tool gelanceerd voor atoomlaagdepositie (ALD) en chemical vapor deposition (CVD). De AltaCVD is onder meer geschikt voor het opbrengen van di√ęlektrica met hoge k, metalen elektroden, legeringen voor faseveranderingsgeheugens en diffusiebarri√®res voor koper. De Franse machinebouwer begeeft zich daarmee in hetzelfde speelveld als ASM International. Het is publiek geheim dat Intel pionier is in het gebruik van hoge-k-di√ęlektrica in geavanceerde CMos-processen en daarvoor de Bilthovense tools gebruikt.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.