ALD-spin-off TNO vangt Pieken in de Delta-bijdrage

Nieke Roos
Leestijd: 2 minuten

TNO krijgt naar schatting zo‘n twee miljoen euro uit het Pieken in de Delta-potje voor Zuidoost-Nederland om zijn technologie voor snelle atoomlaagdepositie (ALD) te commercialiseren in de spin-off Solaytec. Het onderzoeksinstituut gaat het geld gebruiken om met acht industriële partners uit Zuidoost-Brabant een productietool te maken waarmee zonnecelfabrikanten een passivatielaag kunnen aanbrengen. Hoeveel de overheid precies bijdraagt, wil TNO niet zeggen, maar de totale projectkosten bedragen 4,5 miljoen euro, waarvan EZ, de provincies Noord-Brabant en Limburg en het Samenwerkingsverband Regio Eindhoven iets minder dan de helft voor hun rekening nemen.

Gewoonlijk ligt bij ALD het substraat roerloos in een reactor die cyclusgewijs met gasvormige reactanten wordt gevuld om laag voor laag op te brengen. Het concept van TNO is echter spatieel: het substraat beweegt zich door zones met reactieve gassen, van elkaar gescheiden door zones van inerte gassen. Deze aanpak maakt het mogelijk om de verschillende lagen supersnel neer te leggen. Ter vergelijking: een concentionele ALD-reactor doet twintig minuten over een dertig nanometer dikke laag aluminiumoxide, TNO slechts dertig seconden.

Om de haalbaarheid van zijn ALD-concept aan te tonen heeft het kennisinstituut een proefopstelling gebouwd. Deze gebruikt een ronde kop die in gaszones is verdeeld en waar een ronde wafer onderdoor draait. Met de Pieken in de Delta-subsidie willen de partners dit prototype perfectioneren tot een productierijp model dat de lagen lineair aanbrengt op vierkante zonnecellen. Als alles naar behoren verloopt, draagt TNO het stokje volledig over aan Solaytec (Solar Layer Technology). De spin-off is al opgericht en is nu in gesprek met geldschieters. Op de solarbeurs PVSec, begin september in Valencia, moet het eerste product acte de présence geven.

Dit artikel is exclusief voor premium leden van High-Tech Systems Magazine. Al premium lid? Log dan in. Nog geen premium lid? Neem dan een premium lidmaatschap en geniet van alle voordelen.

Inloggen

Problemen met inloggen? Bel dan (tijdens kantooruren) naar 024 350 3532 of stuur een e-mail naar info@techwatch.nl.